[發明專利]一種陽極鍵合批量化生產設備

有效

• 申請號: 201310152972.8
• 申請日: 2013-04-28
• 公開（公告）號: CN103626122A
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發明（設計）人: 陳立國;潘明強;陳濤;李光輝
• 申請（專利權）人: 蘇州迪納精密設備有限公司
• 主分類號: B81C3/00
• 分類號: B81C3/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種陽極鍵合批量化生產設備，其特征是：其組成包括主電器控制柜(10)，設置在所述主電器控制柜(10)上部的上殼體(6)，所述上殼體(6)內部設有批量陽極鍵合系統(8)，以及與批量陽極鍵合系統(8)相連的料盤傳送系統(3)和三自由度吸附手(4)，所述料盤傳送系統(3)兩端分別連接有批量進料機構(2)和批量出料機構(9)，所述上殼體(6)外部設有操作面板(7)和顯示器(1)。

2.根據權利要求1所述的一種陽極鍵合批量化生產設備，其特征是：所述上殼體(6)頂部還設有三色報警燈(5)。

3.根據權利要求1所述的一種陽極鍵合批量化生產設備，其特征是：所述批量出料機構(9)的組成包括升降電動滑臺(94)和槽型料盤放置邊板(92)，以及設置在所述槽型料盤放置邊板(92)上部的斯科制鎖(91)和對側的光電開關(93)。

4.根據權利要求1所述的一種陽極鍵合批量化生產設備，其特征是：所述批量進料機構(9)的組成包括升降電動滑臺(94)和槽型料盤放置邊板(92)，以及設置在所述槽型料盤放置邊板(92)上部的斯科制鎖(91)和對側的光電開關(93)。

5.根據權利要求1所述的一種陽極鍵合批量化生產設備，其特征是：所述料盤傳送系統(3)的組成包括料盤(31)，與所述料盤(31)連接的傳送帶(32)，設置在所述傳送帶(32)一側的顯微鏡(34)，分別設置在所述顯微鏡(34)兩側的氣動限位擋塊(33)和氣動式推板(35)，所述氣動式推板(35)一側設有活動推塊(36)。

6.根據權利要求1所述的一種陽極鍵合批量化生產設備，其特征是：三自由度吸附手(4)的組成包括互相垂直的Y軸電動滑臺(41)、Z軸電動滑臺(42)和X軸電動滑臺(43)，所述Z軸電動滑臺(42)連接有氣缸吊板(45)，氣缸吊板(45)內部設有氣缸(46)、緩震壓簧(47)和活塞連接件(48)，以及設置在三自由度吸附手(4)最底端的搬運式吸頭(44)。

7.根據權利要求1所述的一種陽極鍵合批量化生產設備，其特征是：所述批量陽極鍵合系統(8)的組成包括下爐體鍵合平臺(81)、上爐體線罩(82)、散熱風扇(83)、下爐體線罩(84)、邊緣擋板(85)、上爐體支撐板(86)、上爐體X軸電動動滑臺(87)、上爐體Z軸電動滑臺(88)、可調壓式桿件(89)、導向滑軌(810)、下壓滑桿(811)、下壓上爐體(812)，其中下爐體鍵合平臺(81)設置在下爐體線罩(84)上方，下壓上爐體(812)設置在下爐體鍵合平臺(81)上方，下壓滑桿(811)設置在下壓上爐體(812)上方，導向滑軌(810)設置在下壓滑桿(811)上方，可調壓式桿件(89)設置在導向滑軌(810)上方，上爐體線罩(82)設置在可調壓式桿件(89)上方，上爐體線罩(82)和下爐體線罩(84)之間依靠上爐體支撐板(86)和邊緣擋板(85)支撐，所述上爐體支撐板(86)上設有散熱風扇(83)，上爐體X軸電動動滑臺(87)和上爐體Z軸電動滑臺(88)設置在下爐體鍵合平臺(81)下方。