[發(fā)明專利]一種靶材用高純鈦板的制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310152428.3
• 申請日: 2013-04-27
• 公開（公告）號: CN103215553A
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發(fā)明（設計）人: 黨鵬;高維娜;王瑞琴;吳曉東;付文杰;李輝;張清;劉華;王洋;周玉川;陳鈞偉;楊利;李鵬;范涵
• 申請（專利權）人: 西部鈦業(yè)有限責任公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 西安創(chuàng)知專利事務所 61213
• 代理人: 譚文琰

1.一種靶材用高純鈦板的制備方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：?

步驟一、將海綿鈦顆粒壓制成密度為3.2g/cm³～3.5g/cm³的電極塊，然后將多個所述電極塊在真空等離子焊箱中進行真空等離子焊接，得到自耗電極；?

步驟二、將步驟一中所述自耗電極置于真空自耗電弧熔煉爐中，在真空度不大于0.5Pa的條件下進行兩次真空自耗電弧熔煉，得到鑄錠；所述鑄錠的截面形狀為直徑為480mm～720mm的圓形；?

步驟三、切除步驟二中所述鑄錠的冒口和錠底，去除鑄錠的表面缺陷，然后將去除表面缺陷后的鑄錠置于加熱爐中進行第一加熱處理，所述第一加熱處理的具體制度為：首先在溫度為750℃～800℃的條件下保溫60min～90min，然后升溫至1000℃～1050℃后保溫300min～450min；?

步驟四、采用快鍛機將步驟三中經(jīng)第一加熱處理后的鑄錠進行一火次的鐓拔鍛造，得到厚度為120mm～240mm的板坯；所述鐓拔鍛造的總變形量為65%～80%；?

步驟五、去除步驟四中所述板坯的表面缺陷，然后將去除表面缺陷后的板坯置于加熱爐中，在溫度為850℃～880℃的條件下保溫150min～280min進行第二加熱處理；?

步驟六、采用熱軋機將步驟五中經(jīng)第二加熱處理后的板坯進行軋制，得到厚度為10mm～20mm的半成品板材；所述軋制的總變形量為85%～95%；?

步驟七、將步驟六中所述半成品板材依次進行退火、矯直和表面修磨處理，得到厚度為10mm～20mm的靶材用高純鈦板；所述靶材用高純鈦板的質量純度不小于99.8%。?

2.根據(jù)權利要求1所述的一種靶材用高純鈦板的制備方法，其特征在于，步驟一中所述海綿鈦顆粒的質量等級為零級。?

3.根據(jù)權利要求1所述的一種靶材用高純鈦板的制備方法，其特征在于，步驟一中所述海綿鈦顆粒的粒度為0.83mm～12.7mm。?

4.根據(jù)權利要求1所述的一種靶材用高純鈦板的制備方法，其特征在于，步驟三中所述升溫的速率為1℃/min～2℃/min。?

5.根據(jù)權利要求1所述的一種靶材用高純鈦板的制備方法，其特征在于，步驟六中所述軋制的道次變形量為8.5%～30%。?

6.根據(jù)權利要求1所述的一種靶材用高純鈦板的制備方法，其特征在于，步驟七中所述退火的溫度650℃～750℃，所述退火的時間為30min～60min。?