[發(fā)明專(zhuān)利]一種異物檢測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310150683.4
• 申請(qǐng)日: 2013-04-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103245678A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-08-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳暉
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01N21/958
• 分類(lèi)號(hào): G01N21/958
• 代理公司: 廣東廣和律師事務(wù)所 44298
• 代理人: 劉敏

1.一種異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述異物檢測(cè)裝置包括臺(tái)架、保護(hù)柱、光發(fā)射器及光接收器，所述保護(hù)柱設(shè)置在所述臺(tái)架上，且所述保護(hù)柱與所述玻璃基板之間形成有具有預(yù)先設(shè)定的高度的縫隙，所述光發(fā)射器和所述光接收器分別位于所述玻璃基板的相對(duì)兩側(cè)，且所述光發(fā)射器用于朝所述縫隙內(nèi)照射光，所述光接收器用于接收經(jīng)過(guò)所述縫隙的光。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述預(yù)先設(shè)定的高度為100微米至800微米。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述光發(fā)射器為激光發(fā)射器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述光接收器為CCD圖像傳感器。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述異物檢測(cè)裝置還包括驅(qū)動(dòng)部及控制器，所述驅(qū)動(dòng)部用于驅(qū)動(dòng)所述保護(hù)柱、所述光發(fā)射器及所述光接收器同步運(yùn)動(dòng)，所述控制器用于控制所述驅(qū)動(dòng)部、所述光發(fā)射器及所述光接收器。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述異物檢測(cè)裝置還包括警報(bào)器，所述警報(bào)器與所述控制器連接以在所述光接收器檢測(cè)出異常時(shí)通過(guò)所述控制器控制所述警報(bào)器發(fā)出警報(bào)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述保護(hù)柱通過(guò)多個(gè)螺栓連接在所述臺(tái)架上，所述保護(hù)柱上設(shè)有多個(gè)沉頭通孔，所述多個(gè)螺栓的頭部位于所述多個(gè)沉頭通孔內(nèi)，且所述多個(gè)螺栓的螺紋部穿出所述多個(gè)沉頭通孔連接在所述臺(tái)架上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述多個(gè)螺栓上均套設(shè)有壓縮彈簧，所述壓縮彈簧的兩側(cè)分別抵壓在所述臺(tái)架的底面和所述保護(hù)柱的頂面上。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述異物檢測(cè)裝置還包括多個(gè)振動(dòng)檢測(cè)元件，所述多個(gè)振動(dòng)檢測(cè)元件用于檢測(cè)保護(hù)柱的振動(dòng)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述多個(gè)振動(dòng)檢測(cè)元件均為電子數(shù)顯千分計(jì)，所述電子數(shù)顯千分計(jì)用于測(cè)量所述保護(hù)柱的頂面在高度方向上的移動(dòng)，并將該移動(dòng)的數(shù)據(jù)輸出給所述控制器。