[發(fā)明專利]大型拋光膠盤的開槽和修盤裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310147787.X
• 申請(qǐng)日: 2013-04-25
• 公開（公告）號(hào): CN103212991A
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 頓愛(ài)歡;吳福林;顧建勛;徐學(xué)科
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類號(hào): B23P23/02
• 分類號(hào): B23P23/02
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

1.一種大型拋光膠盤的開槽和修盤裝置，該裝置包括一個(gè)由電機(jī)（2）驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的大理石拋光盤（3），該拋光盤的上表面澆注一層均勻的拋光膠，形成拋光膠盤（4），其特征在于：在所述的大理石拋光盤（3）的外側(cè)設(shè)立一落地的承重機(jī)架，該機(jī)架由支撐立柱（14）位于該立柱上端的水平橫梁（6）構(gòu)成，該水平橫梁（6）上設(shè)有水平導(dǎo)軌（7）、水平絲桿（8）、拖板（10）和步進(jìn)電機(jī)（13），所述的拖板（10）在所述的步進(jìn)電機(jī)（13）的驅(qū)動(dòng)下由水平絲桿（8）帶動(dòng)在水平導(dǎo)軌（7）上運(yùn)動(dòng)，該拖板（10）可在水平方向沿拋光膠盤的徑向移動(dòng)，該拖板（10）上安裝有開槽銑刀（16）、修盤刮刀（15）、第一螺旋位移調(diào)節(jié)裝置（9）和第二螺旋位移調(diào)節(jié)裝置（12），所述的第二螺旋位移調(diào)節(jié)裝置（12）調(diào)節(jié)所述的開槽銑刀（16）的高度、進(jìn)給和施壓，由所述的第一螺旋位移調(diào)節(jié)裝置（9）調(diào)節(jié)所述的修槽刮刀（15）的高度、進(jìn)給和施壓。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大型拋光膠盤的開槽和修盤裝置，其特征在于：所述的修盤刮刀（15）為鋸齒形結(jié)構(gòu)，具有鋸齒的個(gè)數(shù)和鋸齒的齒距不同的配件，根據(jù)實(shí)際需要更換使用。