[發明專利]可見近紅外譜段反射和紅外多譜段透過分色片及制備方法

無效

• 申請號: 201310146436.7
• 申請日: 2013-04-25
• 公開（公告）號: CN103245983A
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發明（設計）人: 王多書;王濟洲;熊玉卿;董茂進;王超;張玲;李晨
• 申請（專利權）人: 蘭州空間技術物理研究所
• 主分類號: G02B1/10
• 分類號: G02B1/10;G02B5/20
• 代理公司: 北京理工大學專利中心 11120
• 代理人: 楊志兵;郭德忠

技術領域

本發明涉及一種可見近紅外譜段反射和紅外多譜段透過分色片及制備方法，具體地說，所述分色片在0.43～0.90μm譜段具有高反射率，在1.55～1.75μm、2.08～2.35μm、3.50～5.50μm、7.80～10.00μm和11.08～12.55μm譜段均具有高透過率；屬于表面技術領域。

背景技術

分色片是目前空間相機及其他成像儀器探測系統中的一個關鍵部件，對進入空間相機及其他成像儀器探測系統的光進行分光作用。焦平面技術代表著目前成像系統的發展方向，其主要采用集成探測器陣列技術把多個譜段濾光片集中在一個平面上，因此在分光系統中需對光按照可見、近紅外、短中波和長波紅外這幾個譜段進行分光。

由于制備滿足焦平面技術的分色片的難度比傳統的分色片難度大大提高，因此對所述分光片的材料以及膜系提出了更高的要求，目前尚未見在0.43～0.90μm譜段具有高反射率，在1.55～1.75μm、2.08～2.35μm、3.50～5.50μm、7.80～10.00μm和11.08～12.55μm譜段均具有高透過率的分色片。

發明內容

針對現有技術中的缺陷，本發明的目的之一在于提供一種可見近紅外譜段反射和紅外多譜段透過分色片，所述分色片在0.43～0.90μm譜段具有高反射率，同時在1.55～1.75μm、2.08～2.35μm、3.50～5.50μm、7.80～10.00μm和11.08～12.55μm這多個譜段具有高透過率。

本發明的目的之二在于提供一種可見近紅外譜段反射和紅外多譜段透過分色片的制備方法。

本發明的目的通過以下技術方案實現。

一種可見近紅外譜段反射和紅外多譜段透過分色片，所述分色片包括硒化鋅（ZnSe）基底和基底一側的膜系；

膜系包括交替疊加的硫化鋅（ZnS）膜層和氟化釔（YF3）膜層，結構為：（0.3h0.6l0.3h）^10（0.38h0.76l0.38h）^10（0.5hl0.5h）^12，中心波長為890nm；其中，h為硫化鋅膜層，0.3、0.38和0.5為硫化鋅膜層厚度對應基本厚度的系數，0.3h代表硫化鋅膜層厚度為0.3個基本厚度，0.38h代表硫化鋅膜層厚度為0.38個基本厚度，0.5h代表硫化鋅膜層厚度為0.5個基本厚度，l為氟化釔膜層，0.6、0.76和1代表氟化釔膜層厚度對應基本厚度的系數，0.6l代表氟化釔膜層厚度為0.6個基本厚度，0.76l代表氟化釔膜層厚度為0.76個基本厚度，l代表氟化釔膜層厚度為1個基本厚度，所述基本厚度為光學厚度中心波長的四分之一；基本膜堆（0.3h0.6l0.3h）和基本膜堆（0.38h0.76l0.38h）的周期數為10，基本膜堆（0.5hl0.5h）的周期數為12。

采用Macleod軟件對所述膜系進行優化，得到優選的膜系如表1所示，其中，層數為1的膜層為膜系的最外層，層數為63的膜層沉積在硒化鋅基底上，為膜系的最內層；

表1膜系