[發明專利]鈮酸鋰起偏器芯片加工方法有效
| 申請號： | 201310144145.4 | 申請日： | 2013-04-24 |
| 公開（公告）號： | CN103213204A | 公開（公告）日： | 2013-07-24 |
| 發明（設計）人： | 華勇;朱學軍;張征;林志;丁黔川 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第四十四研究所 |
| 主分類號： | B28D5/00 | 分類號： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 重慶輝騰律師事務所 50215 | 代理人： | 侯懋琪;侯春樂 |
| 地址： | 400060 重慶*** | 國省代碼： | 重慶;85 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鈮酸鋰起偏器 芯片 加工 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種鈮酸鋰起偏器芯片加工方法，該方法包括如下步驟：1）對鈮酸鋰晶體進行切割，獲得鈮酸鋰晶片，2）對鈮酸鋰晶片表面進行研磨拋光，3）采用質子交換退火工藝，在鈮酸鋰晶片上加工出波導，獲得鈮酸鋰起偏器芯片；其特征在于：
步驟1）中，對鈮酸鋰晶體進行切割時，切割面與鈮酸鋰晶體的Y軸方向平行，同時切割面與鈮酸鋰晶體的Z軸方向成一定夾角???????????????????????????????????????????????，0°＜＜90°；
然后采用步驟2）、3）中的工藝，在鈮酸鋰晶片上加工出波導，波導所在的結構體表面形成波導面，最終獲得起偏角度與波導面夾角成的鈮酸鋰起偏器芯片。
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