[發明專利]感光性樹脂組合物有效
| 申請號： | 201310142849.8 | 申請日： | 2013-04-23 |
| 公開（公告）號： | CN103376659B | 公開（公告）日： | 2019-05-17 |
| 發明（設計）人： | 三浦洋之;宮芳子 | 申請（專利權）人： | 住友化學株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/033 | 分類號： | G03F7/033;G03F7/004;G03F7/09;G03F7/00;G02B5/20 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 蔣亭 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 感光性 樹脂 組合 | ||
1.一種感光性樹脂組合物，含有(A)粘結劑樹脂、(B)聚合性化合物、(C)聚合引發劑及引發助劑、以及(D)溶劑，
其中，(A)粘結劑樹脂的重均分子量為8000～100000，(C)聚合引發劑及引發助劑至少含有肟系化合物、酰基氧化膦系化合物和噻噸酮系化合物，
就(D)溶劑而言，在總溶劑中含有70質量％～99質量％的溶解度參數為8.0～9.1(cal/cm3)1/2的溶劑，且在總溶劑中含有1質量％～30質量％的丙二醇單甲醚。
2.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，(A)粘結劑樹脂的固態成分的酸值為80～200。
3.根據權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中，(A)粘結劑樹脂與(B)聚合性化合物的比率，以質量為基準計且用(A)粘結劑樹脂/(B)聚合性化合物表示時，為50/50以上且80/20以下。
4.根據權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其還含有(E)著色劑。
5.根據權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其還含有(F)流平劑，流平劑的量在0.001質量％～0.3質量％。
6.一種圖案化涂布膜的制造方法，包括將權利要求1～5中的任意一項所述的感光性樹脂組合物涂布在支承體上，除去溶劑，形成涂布膜的工序，以及
掩蔽所述涂布膜后進行曝光，用顯影液除去所述涂布膜的未曝光部分的工序。
7.一種圖案化涂布膜的制造方法，其僅包括以下工序：
將權利要求1～5中的任意一項所述的感光性樹脂組合物涂布在支承體上，除去溶劑，形成涂布膜的工序，以及
掩蔽所述涂布膜后進行曝光，用顯影液除去所述涂布膜的未曝光部分的工序。
8.一種圖案化涂布膜的制造方法，包括將權利要求1～5中的任意一項所述的感光性樹脂組合物涂布在支承體上，除去溶劑，形成涂布膜的工序，
掩蔽所述涂布膜后進行曝光，用顯影液除去所述涂布膜的未曝光部分的工序，以及
在23℃～200℃的溫度下保持用顯影液除去未曝光部分后的涂布膜的工序。
9.一種濾色器的制造方法，其具有：
將權利要求1～5中的任意一項所述的感光性樹脂組合物涂布在支承體上，除去溶劑，形成涂布膜的工序，以及
制作圖案化涂布膜的工序，該工序包括將所述涂布膜掩蔽后進行曝光、用顯影液除去所述涂布膜的未曝光部分的工序。
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