[發明專利]一種雙材料柵線性摻雜的石墨烯場效應管

有效

• 申請號: 201310141991.0
• 申請日: 2013-04-22
• 公開（公告）號: CN103247688A
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發明（設計）人: 王偉;王燕;閆帥軍
• 申請（專利權）人: 南京郵電大學
• 主分類號: H01L29/78
• 分類號: H01L29/78;H01L29/49;H01L29/36
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 葉連生

1.一種雙材料異質柵場效應管，其特征在于該場效應管是一種雙材料異質柵結構，該雙材料異質柵由第一種導電金屬材料（1）和第二種導電金屬材料（2）構成，其中用本征石墨烯材料（5）作為導電溝道，導電溝道的兩側與兩個柵電極（V_G）間分別用同種電介質材料氧化層(3)填充，且兩個柵電極以溝道為中心形成對稱結構；在本征石墨烯材料（5）的兩端分別為underlap區域（7），underlap區域（7）與源極（V_S）間是源區（4），underlap區域（7）與漏極（V_D）間是漏區（6），氧化層（3）位于源區（4）、本征石墨烯材料（5）、漏區（6）、underlap區域（7）的外側，該場效應管的源區（4）和漏區（6）為n型重摻雜的石墨烯，underlap區域（7）為線性摻雜，???????????????????????????????????????????????其中為源漏區的摻雜濃度，為underlap區域的長度，為開始的源漏區的摻雜濃度，C為摻雜線性變化的系數，其中C?>0，underlap區域中摻雜的濃度隨著長度的增加而減小。

2.根據權利要求1所述的兩種材料異質柵線性摻雜石墨烯場效應管，其特征在于所述的雙材料異質柵為兩種功函數不同的導電金屬材料構成的異質柵，兩種材料沿溝道方向依次分布，它們的功函數分布如下：功函數的分布從靠近源區（4）的一側到靠近漏區（6）的一側逐步降低，保證靠近漏區（6）一側的功函數小于靠近源區（4）一側的功函數。

3.根據權利要求1所訴的兩種材料異質柵線性摻雜石墨烯場效應管，其特征在于：在underlap區域（7）進行了線性摻雜，underlap區域中摻雜的濃度隨著長度的增加而減小。