[發(fā)明專利]一種宏觀與微區(qū)集成式激光探針成分分析儀有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310141894.1 | 申請日: | 2013-04-23 |
| 公開(公告)號: | CN103267746A | 公開(公告)日: | 2013-08-28 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 鄭重;李祥友;郭連波;曾曉雁;李恩來;呂金萍;任昭;張紅波;李崑;杜敏 | 申請(專利權(quán))人: | 武漢新瑞達(dá)激光工程有限責(zé)任公司;華中科技大學(xué) |
| 主分類號: | G01N21/63 | 分類號: | G01N21/63 |
| 代理公司: | 華中科技大學(xué)專利中心 42201 | 代理人: | 曹葆青 |
| 地址: | 430074 湖北省武漢市東湖高新技*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 宏觀 集成 激光 探針 成分 分析 | ||
1.一種激光探針成分分析儀,包括激光器(1)、倍頻模塊(2)、第一籠式立方(3)、第一激光波長反射鏡(5)、工業(yè)相機(6)、第二激光波長反射鏡(10)、第二籠式立方(12)、光譜采集器(13)、物鏡轉(zhuǎn)換器(16)、聚焦物鏡(17)、光譜儀(23)與計算機(25);
激光器(1)的出光口的前端安裝有倍頻模塊(2),激光器(1)與計算機(25)電信號相連;
第一籠式立方(3)和第二籠式立方(12)均為立方體結(jié)構(gòu),且各個面上均開有通孔;第一激光波長反射鏡(5)可抽取式安裝在第一籠式立方(3)內(nèi);第二激光波長反射鏡(10)可拆卸安裝在第二籠式立方(12)內(nèi);第一激光波長反射鏡(5)的反射面與激光器(1)發(fā)射的激光束夾角為45度;第二激光波長反射鏡(10)位于第一激光波長反射鏡(5)的反射光路上,且第二激光波長反射鏡(10)的反射面與經(jīng)第一激光波長反射鏡(5)反射后的激光束的夾角為45度;
第一籠式立方(3)和第二籠式立方(12)通過連接桿連接成一個整體;
物鏡轉(zhuǎn)換器(16)位于第二籠式立方(1)和二維移動平臺(18)之間,二維移動平臺(18)用于放置樣品;物鏡轉(zhuǎn)換器(16)上至少有四個可旋轉(zhuǎn)的激光聚焦物鏡接口,激光聚焦物鏡接口用于安裝不同波長和不同焦距的聚焦物鏡(17),物鏡轉(zhuǎn)換器(16)通過連接件與第二籠式立方(12)連接在一起;
光譜采集器(13)用于采集激光束燒蝕樣品表面材料形成等離子體火焰信號,光譜采集器(13)與光譜儀(23)光信號連接,光譜儀(23)與計算機(25)電信號相連;
工業(yè)相機(6)用于采集激光束燒蝕樣品表面材料后反射的可見光信號,工業(yè)相機(6)與計算機(25)電信號連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光探針成分分析儀,其特征在于,該分析儀還包括推拉電磁鐵(8)和可見光波長反射鏡(11),可見光波長反射鏡(11)安裝在推拉電磁鐵(8)上,推拉電磁鐵(8)用于帶動可見光波長反射鏡(11)移動至籠式立方(12)內(nèi)且位于第二激光波長反射鏡(10)下方,且使可見光波長反射鏡(11)的鏡面與激光波長反射鏡(10)的鏡面互相平行,激光束燒蝕樣品表面材料后反射的可見光信號由可見光波長反射鏡(11)反射后入射到工業(yè)相機(6)內(nèi);光譜采集器(13)位于第一籠式立方(3)的上方,激光束燒蝕樣品表面材料形成等離子體火焰信號透過第二激光波長反射鏡(10)入射至光譜采集器(13)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光探針成分分析儀,其特征在于,該分析儀還包括推拉電磁鐵(8)和和可見光波長反射鏡(11),可見光波長反射鏡(11)安裝在推拉電磁鐵(8)上,推拉電磁鐵(8)用于帶動可見光波長反射鏡(11)移動至籠式立方(12)與定位板(15)之間,且使可見光波長反射鏡(11)的鏡面與激光波長反射鏡(10)的鏡面互相平行,激光束燒蝕樣品表面材料后反射的可見光信號由可見光波長反射鏡(11)反射后入射到工業(yè)相機(6)內(nèi),光譜采集器(13)位于第一籠式立方(3)的上方,激光束燒蝕樣品表面材料形成等離子體火焰信號透過第二激光波長反射鏡(10)入射至光譜采集器(13)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光探針成分分析儀,其特征在于,該分析儀還包括中心開有通光孔的寬帶反射鏡(33),寬帶反射鏡(33)位于籠式立方(12)與定位板(15)之間,并且寬帶反射鏡(33)的反射面與激光波長反射鏡(10)的表面互相平行,工業(yè)相機(6)位于籠式立方(12)的上方,激光束燒蝕樣品表面材料后反射的可見光信號經(jīng)通光孔入射至工業(yè)相機(6)內(nèi),激光束燒蝕樣品表面材料形成等離子體火焰信號由中心開有通光孔的寬帶反射鏡(33)反射后入射到光譜采集器(13)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4中任一所述的激光探針成分分析儀,其特征在于,所述寬帶反射鏡(33)的反射的光譜范圍為200nm~1000nm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一所述的激光探針成分分析儀,其特征在于,倍頻模塊(2)用于實現(xiàn)266nm、355nm、532nm或1064nm四種波長的激光輸出。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一所述的激光探針成分分析儀,其特征在于,第一激光波長反射鏡(5)和第二激光波長反射鏡(10)均為二向色鏡,該二向色鏡只對某一波長激光束具有高的反射率,而對其它波長激光或光譜信號均具有透過特性。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一所述的激光探針成分分析儀,其特征在于,激光聚焦物鏡(17)的玻璃材料均為紫外熔融石英,玻璃表面鍍有增透膜。
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G01N 借助于測定材料的化學(xué)或物理性質(zhì)來測試或分析材料
G01N21-00 利用光學(xué)手段,即利用紅外光、可見光或紫外光來測試或分析材料
G01N21-01 .便于進(jìn)行光學(xué)測試的裝置或儀器
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G01N21-62 .所測試的材料在其中被激發(fā),因之引起材料發(fā)光或入射光的波長發(fā)生變化的系統(tǒng)
G01N21-75 .材料在其中經(jīng)受化學(xué)反應(yīng)的系統(tǒng),測試反應(yīng)的進(jìn)行或結(jié)果
G01N21-84 .專用于特殊應(yīng)用的系統(tǒng)





