[發明專利]一種用于太陽電池增效的等離子體激源的制備方法有效
| 申請號： | 201310141060.0 | 申請日： | 2013-04-23 |
| 公開（公告）號： | CN103400883A | 公開（公告）日： | 2013-11-20 |
| 發明（設計）人： | 沃爾夫岡法赫納;周浪;黃海賓 | 申請（專利權）人： | 南昌大學 |
| 主分類號： | H01L31/052 | 分類號： | H01L31/052;H01L31/0216 |
| 代理公司： | 南昌新天下專利商標代理有限公司 36115 | 代理人： | 施秀瑾 |
| 地址： | 330031 江西省*** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 太陽電池 增效 等離子體 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于太陽電池增效的等離子體激源的制備方法，其特征是：
（1）以3～7層線徑為0.02~0.04?mm、線隙為0.03～0.05的篩網遮擋太陽電池前表面，以真空蒸發方法向太陽電池前表面沉積金屬，使各個網孔下都得到一層0.5～2.5?nm厚的金屬薄膜島；
（2）然后在真空環境中于100～500?℃下進行退火；
所述的金屬為熔點在100?℃以上的各種金屬。
2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征是所述的金屬為金、銀、鉑。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
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