[發明專利]一種陶瓷相納米晶復合涂層注塑機螺桿制備工藝

無效

• 申請號: 201310141042.2
• 申請日: 2013-04-23
• 公開（公告）號: CN103215545A
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發明（設計）人: 李固加
• 申請（專利權）人: 李固加
• 主分類號: C23C14/06
• 分類號: C23C14/06;C23C14/35;B29C45/48
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1.一種陶瓷相納米晶復合涂層注塑機螺桿制備工藝，包括：

步驟1：對螺桿進行清洗；

步驟2：將步驟1后的螺桿作為基材，在基材上沉積厚度為500nm的過渡層，該過渡層為Ti、Si、W、Al、Cr、Zr的單質或氮化物或碳化物或氮碳化物的陶瓷相納米晶結構；

步驟3：在步驟2的過渡層上沉積厚度為5～8μm的主功能層，該主功能層為Ti和/或Si和/或W和/或Al和/或Cr和/或Zr的氮化物或碳化物或氧化物或氮碳化物中的至少兩種交替沉積的陶瓷相納米晶結構復合層；

步驟4：在步驟3的主功能層上沉積厚度為2～3μm的自潤滑層，該自潤滑層為AlCrN滲DLC膜層；

步驟5：冷卻。

2.根據權利要求1所述的陶瓷相納米晶復合涂層注塑機螺桿制備工藝，其特征在于，步驟1中清洗方法是：先用超聲波把螺桿進行除油除蠟清洗；然后烘干；再放在真空陰極電弧離子鍍設備中，進行抽真空加熱，加熱溫度設定在300～350℃,當抽真空至5×10^-3Pa,開始充入氬氣進行輝光放電清洗,時間為30～40分鐘。

3.根據權利要求1所述的陶瓷相納米晶復合涂層注塑機螺桿制備工藝，其特征在于，步驟2的過渡層是在氣壓0.1～0.2Pa、溫度300～350℃、偏壓-150～-200V下制得的。

4.根據權利要求1所述的陶瓷相納米晶復合涂層注塑機螺桿制備工藝，其特征在于，步驟3的主功能層是在氣壓0.5～0.6Pa、溫度300～350℃，偏壓-200～-250V條件下制得的。

5.根據權利要求1所述的陶瓷相納米晶復合涂層注塑機螺桿制備工藝，其特征在于，步驟3中的陶瓷相納米晶體粒直徑小于5nm。

6.根據權利要求1所述的陶瓷相納米晶復合涂層注塑機螺桿制備工藝，其特征在于，在步驟4的自潤滑層是在氣壓0.4～0.5Pa、溫度300℃，偏壓-150～-200V條件下制得的。

7.根據權利要求1所述的陶瓷相納米晶復合涂層注塑機螺桿制備工藝，其特征在于，步驟2中過渡層的沉積、步驟3中主功能層的沉積、步驟4中自潤滑層的沉積是利用多弧離子磁控濺射技術實現的。

8.根據權利要求1所述的陶瓷相納米晶復合涂層注塑機螺桿制備工藝，其特征在于，步驟5中冷卻是在真空條件下自然冷卻到100℃。