[發明專利]用于分析EDS信號的方法

有效

• 申請號: 201310139086.1
• 申請日: 2013-04-19
• 公開（公告）號: CN103376456B
• 公開（公告）日: 2017-09-08
• 發明（設計）人: C.S.庫伊杰曼;H.J.德福斯
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: G01T1/00
• 分類號: G01T1/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 張懿,王忠忠

1.一種用于分析包含隨機間隔的階躍的輻射傳感器的信號的方法，所述方法包括：

·檢測階躍(402)的存在；

·估計相鄰階躍之間的時間間隔(403,406)；

·用第一濾波特性對階躍之前的信號濾波；

·用第二濾波特性對階躍之后的信號濾波；

·估計階躍高度；以及

·根據所估計的階躍高度用大量階躍形成密度分布或直方圖，

其特征在于

·使用所述階躍之前的平穩段的方差的估計值和所述階躍之后的平穩段的方差的估計值來估計所述階躍高度的方差，所述平穩段的方差的估計值基于所述平穩段中的每一個的間隔的長度，

·所述大量階躍中的每一個根據加權因子對密度分布或直方圖做出貢獻，所述加權因子是所述方差的函數，所述函數使得具有低方差的階躍與具有高方差的階躍相比與更大的加權因子關聯，

其結果為對應于高可靠性的、具有低方差的階躍高度估計值被突出。

2.根據權利要求1所述的方法，其中基于所述平穩段中的每一個的間隔的長度估計所述平穩段的方差還包括將所分析的信號的噪聲模型考慮在內。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其中所述信號是固態器件的信號并且所述階躍是X射線光子撞擊所述固態器件的結果。

4.根據權利要求3所述的方法，其中所述階躍高度表示X射線光子的能量。

5.根據權利要求1或2所述的方法，其中每個階躍由所估計的階躍高度和階躍高度方差表示，并且所述階躍根據加權因子對所述密度分布或直方圖的貢獻采取與概率密度函數成比例的貢獻乘以取決于所述方差的加權因子的形式。

6.根據權利要求5所述的方法，其中所述概率密度函數是高斯概率密度函數乘以所述加權因子。

7.根據權利要求1或2所述的方法，其中對于方差高于預定閾值的階躍，所述加權因子等于零。

8.根據權利要求1或2所述的方法，其中使用一維遞歸雙邊濾波器來檢測階躍的出現。

9.根據權利要求1或2所述的方法，其中在所述階躍之間應用基線校正。

10.一種用于觀察響應于刺激從樣本出射的X射線的裝置，所述裝置包括X射線檢測器，所述X射線檢測器是固態器件或氣體比例計數器，所述X射線檢測器產生顯示階躍的信號，由信號處理器處理所述信號，所述信號處理器被配置用于檢測階躍的存在、估計所述階躍之間的時間間隔、用第一濾波特性對階躍之前的信號濾波、用第二濾波特性對階躍之后的信號濾波、估計階躍高度并且根據所估計的階躍高度用大量階躍形成密度分布或直方圖，

其特征在于

所述信號處理器被配置用于使用所述階躍之前的平穩段的方差的估計值和所述階躍之后的平穩段的方差的估計值來估計所述階躍高度的方差，所述平穩段的方差的估計值基于所述平穩段中的每一個的間隔的長度，并且被配置用于為對所述密度分布或直方圖做出貢獻的所述大量階躍中的每一個分配加權因子，所述加權因子是所述方差的函數。

11.根據權利要求10所述的裝置，其中所述信號處理器還被配置用于使用所述信號的噪聲模型的模型來估計所述平穩段的方差。

12.根據權利要求10或11中任一項所述的裝置，其中所述信號處理器是可編程信號處理器。

13.根據權利要求10或11中任一項所述的裝置，其中所述刺激是高能電子射束或X射線的射束。

14.一種用于分析包含隨機間隔的階躍的輻射傳感器的信號的設備，所述設備包括：

·用于檢測階躍(402)的存在的部件；

·用于估計相鄰階躍之間的時間間隔(403,406)的部件；

·用于用第一濾波特性對階躍之前的信號濾波的部件；

·用于用第二濾波特性對階躍之后的信號濾波的部件；

·用于估計階躍高度的部件；以及

·用于根據所估計的階躍高度用大量階躍形成密度分布或直方圖的部件，

其特征在于

·使用所述階躍之前的平穩段的方差的估計值和所述階躍之后的平穩段的方差的估計值來估計所述階躍高度的方差，所述平穩段的方差的估計值基于所述平穩段中的每一個的間隔的長度，

·所述大量階躍中的每一個根據加權因子對密度分布或直方圖做出貢獻，所述加權因子是所述方差的函數，所述函數使得具有低方差的階躍與具有高方差的階躍相比與更大的加權因子關聯，

其結果為對應于高可靠性的、具有低方差的階躍高度估計值被突出。