[發(fā)明專利]用于分析EDS信號(hào)的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310139086.1
• 申請(qǐng)日: 2013-04-19
• 公開（公告）號(hào): CN103376456B
• 公開（公告）日: 2017-09-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: C.S.庫伊杰曼;H.J.德福斯
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: FEI公司
• 主分類號(hào): G01T1/00
• 分類號(hào): G01T1/00
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 張懿,王忠忠

1.一種用于分析包含隨機(jī)間隔的階躍的輻射傳感器的信號(hào)的方法，所述方法包括：

·檢測(cè)階躍(402)的存在；

·估計(jì)相鄰階躍之間的時(shí)間間隔(403,406)；

·用第一濾波特性對(duì)階躍之前的信號(hào)濾波；

·用第二濾波特性對(duì)階躍之后的信號(hào)濾波；

·估計(jì)階躍高度；以及

·根據(jù)所估計(jì)的階躍高度用大量階躍形成密度分布或直方圖，

其特征在于

·使用所述階躍之前的平穩(wěn)段的方差的估計(jì)值和所述階躍之后的平穩(wěn)段的方差的估計(jì)值來估計(jì)所述階躍高度的方差，所述平穩(wěn)段的方差的估計(jì)值基于所述平穩(wěn)段中的每一個(gè)的間隔的長(zhǎng)度，

·所述大量階躍中的每一個(gè)根據(jù)加權(quán)因子對(duì)密度分布或直方圖做出貢獻(xiàn)，所述加權(quán)因子是所述方差的函數(shù)，所述函數(shù)使得具有低方差的階躍與具有高方差的階躍相比與更大的加權(quán)因子關(guān)聯(lián)，

其結(jié)果為對(duì)應(yīng)于高可靠性的、具有低方差的階躍高度估計(jì)值被突出。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中基于所述平穩(wěn)段中的每一個(gè)的間隔的長(zhǎng)度估計(jì)所述平穩(wěn)段的方差還包括將所分析的信號(hào)的噪聲模型考慮在內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其中所述信號(hào)是固態(tài)器件的信號(hào)并且所述階躍是X射線光子撞擊所述固態(tài)器件的結(jié)果。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中所述階躍高度表示X射線光子的能量。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其中每個(gè)階躍由所估計(jì)的階躍高度和階躍高度方差表示，并且所述階躍根據(jù)加權(quán)因子對(duì)所述密度分布或直方圖的貢獻(xiàn)采取與概率密度函數(shù)成比例的貢獻(xiàn)乘以取決于所述方差的加權(quán)因子的形式。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中所述概率密度函數(shù)是高斯概率密度函數(shù)乘以所述加權(quán)因子。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其中對(duì)于方差高于預(yù)定閾值的階躍，所述加權(quán)因子等于零。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其中使用一維遞歸雙邊濾波器來檢測(cè)階躍的出現(xiàn)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其中在所述階躍之間應(yīng)用基線校正。

10.一種用于觀察響應(yīng)于刺激從樣本出射的X射線的裝置，所述裝置包括X射線檢測(cè)器，所述X射線檢測(cè)器是固態(tài)器件或氣體比例計(jì)數(shù)器，所述X射線檢測(cè)器產(chǎn)生顯示階躍的信號(hào)，由信號(hào)處理器處理所述信號(hào)，所述信號(hào)處理器被配置用于檢測(cè)階躍的存在、估計(jì)所述階躍之間的時(shí)間間隔、用第一濾波特性對(duì)階躍之前的信號(hào)濾波、用第二濾波特性對(duì)階躍之后的信號(hào)濾波、估計(jì)階躍高度并且根據(jù)所估計(jì)的階躍高度用大量階躍形成密度分布或直方圖，

其特征在于

所述信號(hào)處理器被配置用于使用所述階躍之前的平穩(wěn)段的方差的估計(jì)值和所述階躍之后的平穩(wěn)段的方差的估計(jì)值來估計(jì)所述階躍高度的方差，所述平穩(wěn)段的方差的估計(jì)值基于所述平穩(wěn)段中的每一個(gè)的間隔的長(zhǎng)度，并且被配置用于為對(duì)所述密度分布或直方圖做出貢獻(xiàn)的所述大量階躍中的每一個(gè)分配加權(quán)因子，所述加權(quán)因子是所述方差的函數(shù)。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的裝置，其中所述信號(hào)處理器還被配置用于使用所述信號(hào)的噪聲模型的模型來估計(jì)所述平穩(wěn)段的方差。

12.根據(jù)權(quán)利要求10或11中任一項(xiàng)所述的裝置，其中所述信號(hào)處理器是可編程信號(hào)處理器。

13.根據(jù)權(quán)利要求10或11中任一項(xiàng)所述的裝置，其中所述刺激是高能電子射束或X射線的射束。

14.一種用于分析包含隨機(jī)間隔的階躍的輻射傳感器的信號(hào)的設(shè)備，所述設(shè)備包括：

·用于檢測(cè)階躍(402)的存在的部件；

·用于估計(jì)相鄰階躍之間的時(shí)間間隔(403,406)的部件；

·用于用第一濾波特性對(duì)階躍之前的信號(hào)濾波的部件；

·用于用第二濾波特性對(duì)階躍之后的信號(hào)濾波的部件；

·用于估計(jì)階躍高度的部件；以及

·用于根據(jù)所估計(jì)的階躍高度用大量階躍形成密度分布或直方圖的部件，

其特征在于

·使用所述階躍之前的平穩(wěn)段的方差的估計(jì)值和所述階躍之后的平穩(wěn)段的方差的估計(jì)值來估計(jì)所述階躍高度的方差，所述平穩(wěn)段的方差的估計(jì)值基于所述平穩(wěn)段中的每一個(gè)的間隔的長(zhǎng)度，

·所述大量階躍中的每一個(gè)根據(jù)加權(quán)因子對(duì)密度分布或直方圖做出貢獻(xiàn)，所述加權(quán)因子是所述方差的函數(shù)，所述函數(shù)使得具有低方差的階躍與具有高方差的階躍相比與更大的加權(quán)因子關(guān)聯(lián)，

其結(jié)果為對(duì)應(yīng)于高可靠性的、具有低方差的階躍高度估計(jì)值被突出。