[發明專利]固定由晶體硅制成的兩個部件的方法

在審

• 申請號: 201310137112.7
• 申請日: 2013-04-19
• 公開（公告）號: CN103376728A
• 公開（公告）日: 2013-10-30
• 發明（設計）人: P·卡森;A·科斯塔蒂諾夫;D·馬利特;N·卡拉帕提斯
• 申請（專利權）人: 尼瓦洛克斯-法爾股份有限公司
• 主分類號: G04B17/06
• 分類號: G04B17/06;G04D3/00
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 秘鳳華;吳鵬

1.一種用于固定兩個晶體硅部件（3，7，17）的方法，所述方法包括如下的步驟：

a）形成包括至少一個凹部（23，25）的第一部件（3，7）；

b）形成包括至少一個突出部分（14）的第二部件（17）；

c）將所述至少一個突出部分（14）組裝在所述至少一個凹部（23，25）中；

其特征在于，所述方法包括如下的最終步驟：

d）氧化組件以減小所述部件（3，7，17）之間的任何間隙，從而使所述部件相對于彼此固定不動。

2.一種用于固定兩個晶體硅部件（3，7）的方法，所述方法包括如下的步驟：

a）形成分別包括至少一個第一凹部（25）和至少一個第二凹部（23）的第一部件（3）和第二部件（7）；

b）形成包括至少一個第一突出部分（14）和至少一個第二突出部分（12）的中間晶體硅部件（17）；

c）將所述至少一個第一突出部分（14）組裝在所述至少一個第一凹部（25）中，并且將所述至少一個第二突出部分（12）組裝在所述至少一個第二凹部（23）中；

其特征在于，所述方法包括如下的最終步驟：

d）氧化組件以減小所述部件（3，7，17）之間的任何間隙，從而使所述部件相對于彼此固定不動。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述晶體硅部件（3，7，17）中的至少一個包括彈性變形裝置（13，19），以便將在步驟c）中形成的組件保持在一起。

4.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述第一和第二部件（3，7，17）經由至少一個材料橋接件（20，22）與定位裝置（2）一體地形成。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述定位裝置（2）包括與所述第一部件成一體的第一框架（4）和與所述第二部件成一體的第二框架（6），在步驟c）的組裝操作期間，使用放置裝置（8）將各個框架（4、6）相對于彼此對齊。

6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述放置裝置（8）包括至少一個附接元件（10），所述附接元件（10）與各個框架（4、6）的至少一個腔體（24、26）配合。

7.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述放置裝置（8）包括彈性部（27、29），以便保持在步驟c）中實現的對齊。

8.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述定位裝置（2）由基于晶體硅的元件制成。

9.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，步驟d）形成厚度在0.5μm至6μm之間的外部二氧化硅層。

10.一種鐘表，其特征在于，所述鐘表包括通過根據權利要求1或2的方法固定的至少兩個部件（3，7，17）。