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[發明專利]一種半導體結構及其形成方法在審

專利信息
申請號: 201310135962.3 申請日: 2013-04-18
公開(公告)號: CN104112663A 公開(公告)日: 2014-10-22
發明(設計)人: 吳海平;黃寶偉;劉鵬飛;肖秀光 申請(專利權)人: 比亞迪股份有限公司
主分類號: H01L21/331 分類號: H01L21/331;H01L29/739
代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201 代理人: 張大威
地址: 518118 廣東省*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 半導體 結構 及其 形成 方法
【權利要求書】:

1.一種半導體結構形成方法,其特征在于,包括以下步驟:

A.提供襯底;

B.對所述襯底的背面進行摻雜;

C.在所述襯底的背面形成襯墊層;

D.在所述襯底的正面制作正面結構;

E.去除所述襯墊層及減薄所述襯底,以暴露出所述襯底的背面;以及

F.在所述襯底的背面制作背面結構。

2.如權利要求1所述的半導體結構形成方法,其特征在于,所述襯底與所述襯墊層的初始厚度之和為400-700微米。

3.如權利要求1所述的半導體結構形成方法,其特征在于,通過外延或者鍵合在所述襯底的背面形成襯墊層。

4.如權利要求3所述的半導體結構形成方法,其特征在于,通過外延方法形成的所述襯墊層時,所述襯底的初始厚度為300-400微米,所述襯墊層的厚度小于100微米。

5.如權利要求3所述的半導體結構形成方法,其特征在于,通過鍵合方法形成的所述襯墊層時,所述襯底的初始厚度為150-400微米,所述襯墊層的厚度大于100微米。

6.如權利要求1所述的半導體結構形成方法,其特征在于,通過研磨腐蝕方法去除所述襯墊層及減薄所述襯底。

7.如權利要求1所述的半導體結構形成方法,其特征在于,所述襯底的電阻率為10-300Ω/cm。

8.如權利要求1所述的半導體結構形成方法,其特征在于,對所述襯底的背面進行摻雜為深擴散摻雜。

9.如權利要求1-8任一項所述的半導體結構形成方法,其特征在于,所述半導體結構為IGBT器件。

10.如權利要求9所述的半導體結構形成方法,其特征在于,所述襯底為第一摻雜類型的輕摻雜襯底,并且對所述襯底的背面進行摻雜為第一類型的重摻雜。

11.一種半導體結構,其特征在于,所述半導體結構是通過權利要求1-10任一項所述的半導體結構形成方法得到的。

12.如權利要求9所述的半導體結構,其特征在于,所述半導體結構為IGBT器件。

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