[發(fā)明專利]三維測(cè)量頭

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310135331.1
• 申請(qǐng)日: 2013-04-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103234440A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-08-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙飚;趙志強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 趙飚;趙志強(qiáng)
• 主分類號(hào): G01B7/012
• 分類號(hào): G01B7/012
• 代理公司: 桂林市持衡專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 45107
• 代理人: 廖世傳

1.三維測(cè)量頭，其特征在于：包括測(cè)桿（1）、測(cè)桿在X向和Y向的擺動(dòng)檢測(cè)機(jī)構(gòu)和測(cè)桿在Z向的位移檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述測(cè)桿在X向和Y向的擺動(dòng)檢測(cè)機(jī)構(gòu)由基體（2）和由交叉彈片組成的柔性鉸鏈（3）構(gòu)成，所述柔性鉸鏈（3）分別設(shè)于基體（2）的上、下兩端，兩者的回轉(zhuǎn)中心軸線分別為X向和Y向，上、下端柔性鉸鏈（3）與基體（2）之間分別設(shè)置檢測(cè)X向和Y向轉(zhuǎn)動(dòng)量的測(cè)量元件，所述測(cè)桿（1）連接于基體（2）下端的柔性鉸鏈（3）上；所述測(cè)桿在Z向的位移檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括于導(dǎo)向機(jī)構(gòu)內(nèi)沿Z向上、下運(yùn)動(dòng)的移動(dòng)桿（4），所述移動(dòng)桿（4）的下端連接基體（2）上端的柔性鉸鏈（3），移動(dòng)桿（4）與導(dǎo)向機(jī)構(gòu)之間設(shè)置檢測(cè)Z向位移量的測(cè)量元件和使移動(dòng)桿（4）復(fù)位的回位彈簧（5）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維測(cè)量頭，其特征在于：上端柔性鉸鏈（3）的回轉(zhuǎn)中心軸線上位彈片與移動(dòng)桿（4）連接，下位彈片與基體（2）上端連接；下端柔性鉸鏈（3）的回轉(zhuǎn)中心軸線上位彈片與基體（2）下端連接，下位彈片與測(cè)桿（1）連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三維測(cè)量頭，其特征在于：所述各柔性鉸鏈（3）分別為前、后或左、右設(shè)置的兩組交叉彈片。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任意一項(xiàng)所述的三維測(cè)量頭，其特征在于：所述測(cè)量元件為電容傳感器、或?yàn)殡姼袀鞲衅鳌⒒驗(yàn)楣鈻艂鞲衅鳌⒒驗(yàn)榇艝艂鞲衅鳌⒒驗(yàn)槿輺艂鞲衅鳌?/p>

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的三維測(cè)量頭，其特征在于：所述測(cè)量元件為包括由相互配合感應(yīng)的主柵和副柵構(gòu)成的容柵傳感器，分別為容柵角位移傳感器和容柵直線位移傳感器（13）。