[發明專利]激光加工裝置和激光加工方法有效
| 申請號： | 201310132916.8 | 申請日： | 2013-04-17 |
| 公開（公告）號： | CN103372721A | 公開（公告）日： | 2013-10-30 |
| 發明（設計）人： | 生越信守 | 申請（專利權）人： | 株式會社迪思科 |
| 主分類號： | B23K26/36 | 分類號： | B23K26/36;B23K26/08;B23K26/42;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 李輝;黃綸偉 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光 加工 裝置 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種激光加工裝置，其對被加工物實施激光加工，
該激光加工裝置的特征在于具有：
卡盤臺，其保持被加工物；
激光束照射構件，其包括激光振蕩器和加工頭，該加工頭具有聚光透鏡，該聚光透鏡對從該激光振蕩器振蕩出的激光束進行會聚；
反射光量檢測構件，其檢測從該激光束照射構件照射到保持于該卡盤臺的被加工物上的激光束的反射光量；以及
級數計算構件，其基于由該反射光量檢測構件檢測出的反射光量，計算利用該激光束照射構件沿著被加工物的厚度方向實施多級激光加工的級數。
2.一種激光加工方法，對被加工物實施激光加工，
該激光加工方法的特征在于具有：
保持步驟，利用卡盤臺保持被加工物；
反射光量檢測用激光束照射步驟，以第一條件從激光束照射構件對保持于該卡盤臺的被加工物照射激光束；
反射光量檢測步驟，對在該反射光量檢測用激光束照射步驟中照射到被加工物的激光束被被加工物上表面反射后的反射光的光量進行檢測；
級數計算步驟，基于在該反射光量檢測步驟中檢測出的反射光量，計算沿著被加工物的厚度方向實施多級激光加工的級數；以及
激光加工步驟，在實施該級數計算步驟后，以第二條件從該激光束照射構件對保持于該卡盤臺的被加工物照射激光束，沿著被加工物的厚度方向實施該級數計算步驟中計算出的級數的激光加工。
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