[發明專利]一種通過對長工作距顯微物鏡改裝的干涉顯微物鏡

有效

• 申請號: 201310124780.6
• 申請日: 2013-04-11
• 公開（公告）號: CN104101994A
• 公開（公告）日: 2014-10-15
• 發明（設計）人: 馬駿;高志山;謝佳麗;朱日宏;黃亞;馮海友;陳磊;王青;何勇;李建欣;沈華
• 申請（專利權）人: 南京理工大學
• 主分類號: G02B21/02
• 分類號: G02B21/02;G02B7/00
• 代理公司: 南京理工大學專利中心 32203
• 代理人: 朱顯國

1.一種通過對長工作距顯微物鏡改裝的干涉顯微物鏡，其特征在于：包括顯微物鏡[11]、第一套筒組件[1]和第二套筒組件[5]，第一套筒組件[1]一端通過螺紋固定在顯微物鏡[11]上，另一端與第二套筒組件[5]連接，通過止螺[9]固定第二套筒組件[5]?，第一套筒組件[1]與第二套筒組件[5]連接面帶有螺紋，第一套筒組件[1]包括第一套筒[4]、第一壓圈[3]、參考鏡[4]，第一套筒[2]通過螺紋固定在顯微物鏡[11]上，另一端帶有三階臺階，靠近顯微物鏡[11]鏡頭的臺階半徑最小，為第一臺階，其后分別為第二臺階和第三臺階，第一壓圈[3]通過螺紋將參考鏡[4]固定在第一套筒[2]的第一臺階下表面，第二套筒組件[5]包括第二套筒[6]、第二壓圈[7]、分光鏡[8]，第二套筒[6]底部帶有兩階臺階，靠近待測件[10]的臺階半徑最小，為第四臺階，其后為第五臺階，第二壓圈[7]通過螺紋將分光鏡[8]固定在第二套筒[6]的第四臺階上表面。

2.根據權利要求1所述的通過對長工作距顯微物鏡改裝的干涉顯微物鏡，其特征在于：第一套筒[2]中的第一臺階上表面到顯微物鏡[11]鏡頭前端的垂直距離d₀不大于1mm，顯微物鏡[11]孔徑角為θ，工作距為d，第一臺階的半徑r₁需滿足r₁>(d-d₀)?tanθ/2，第一臺階寬度c₁不大于1mm，第一臺階厚度d₁不大于1mm，參考鏡[4]的半徑r₂需滿足r₁<r₂≤r₁+c₁，參考鏡[4]的厚度h₃要求大于第二臺階厚度d₂且不大于2mm，第一壓圈[3]的垂直厚度h₁不大于3mm，第三臺階的厚度d₃≥h₁+?h₃-d₂，內圈半徑r₃需滿足公式r₃>(d-d₀-d₁-h₃)?tanθ/2，第三臺階到第一套筒[2]底部的距離d₇>?d₆，且需滿足d₀+?d₁+?d₂+d₃+?d₇<?d，所有孔徑的設計需保證正常使用時元件不會影響光線傳播。