[發明專利]微機械殘余應力的測試結構及其測試方法

有效

• 申請號: 201310124315.2
• 申請日: 2013-04-10
• 公開（公告）號: CN103196592A
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 廖小平;楊剛
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01L1/00
• 分類號: G01L1/00
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙) 32249
• 代理人: 楊曉玲

1.微機械殘余應力的測試結構，其特征在于：包括四組結構尺寸參數完全相同的微機械梁測試結構；所述微機械梁測試結構包括一個指針梁和兩個結構尺寸參數完全相同的測試梁，所述兩個測試梁位置平行且與指針梁相互垂直，所述指針梁和測試梁之間的交點記為旋轉點；所述四組微機械梁測試結構的所有指針梁和測試梁均位于同一豎直平面內；記四組微機械梁測試結構的指針梁分別記為1號指針梁、2號指針梁、3號指針梁和4號指針梁；所述1號指針梁、2號指針梁、3號指針梁和4號指針梁位于同一豎直平面內，且在殘余應力釋放前，1號指針梁和3號指針梁位于同一豎直線上，2號指針梁和4號指針梁位于同一水平線上。

2.根據權利要求1所述的微機械殘余應力的測試結構的測試方法，其特征在于：在殘余應力釋放后，對1號指針梁和2號指針梁之間的夾角α進行測量，對3號指針梁和4號指針梁之間的夾角β進行測量，通過下式計算有效殘余應力σ：

σ=EeD(β-α)R8(1-v)(Lt+Wr/2)(Lr+D/2)]]>

其中，E_e表示楊氏模量，L_t表示測試梁的長度，D表示同一指針梁上的兩個旋轉點之間的距離，L_r表示指針梁的長度，ν表示泊松比，W_r表示測試梁的寬度，R表示某一指針梁頂端到與其垂直的指針梁中心線的距離。