[發明專利]在等離子體室中檢測電弧的方法和裝置

在審

• 申請號: 201310124037.0
• 申請日: 2013-02-28
• 公開（公告）號: CN103474321A
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發明（設計）人: 崔相敦
• 申請（專利權）人: 株式會社新動力等離子體
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01J37/244
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 戚傳江;穆德駿

1.一種用于檢測等離子體室中的電弧的裝置，包括：

電壓傳感器，所述電壓傳感器用于檢測由電源供應到所述等離子體室的射頻(RF)功率的電壓值；

電流傳感器，所述電流傳感器用于檢測所述RF功率的電流值；

電壓和電流比例檢測電路，所述電壓和電流比例檢測電路用于接收由所述電壓傳感器和所述電流傳感器檢測到的電壓和電流值，以計算電壓和電流比例；以及

控制器，所述控制器用于基于在所述電壓和電流比例檢測電路中計算的所述電壓和電流比例確定電弧是否產生。

2.根據權利要求1所述的裝置，其中，當所述控制器確定在所述等離子體室中產生電弧時，所述控制器控制以減小來自所述電源的所述RF功率的供應。

3.根據權利要求1所述的裝置，其中，當所述控制器確定在所述等離子體室中產生電弧時，所述控制器控制以阻斷來自所述電源的RF功率的供應。

4.根據權利要求1所述的裝置，其中，當所述控制器確定在所述等離子體室中產生電弧時，所述控制器首先控制減小來自所述電源的所述RF功率的供應，并且然后阻斷所述功率的供應。

5.根據權利要求1所述的裝置，所述裝置進一步包括：

反射功率檢測器，所述反射功率檢測器用于檢測從所述電源供應到所述等離子體室的所述RF功率的反射功率；

比較器電路，所述比較器電路用于將由所述反射功率檢測器檢測到的反射功率值與參考值比較；以及

邏輯電路，所述邏輯電路用于邏輯計算在所述比較器電路中比較的值以及來自所述電壓和電流比例檢測電路的所述電壓和電流比例的值，并將得到的邏輯值提供到所述控制器。

6.根據權利要求5所述的裝置，所述控制器基于由所述邏輯電路提供的所述邏輯值執行對所述功率的供應的控制。

7.一種用于檢測等離子體室中的電弧的方法，包括步驟：

檢測由電源供應給所述等離子體室的RF功率的電壓值；

檢測所述RF功率的電流值；

利用所檢測到的電壓和電流值計算電壓和電流比例的值；以及

基于所計算的所述電壓和電流比例的值確定在所述等離子體室中是否產生電弧。

8.根據權利要求7所述的方法，其中，當確定電弧產生時，確定電弧是否產生的步驟進一步包括控制來自所述電源的所述RF功率的供應。

9.根據權利要求8所述的方法，其中，所述RF功率的供應的控制包括減小所述RF功率的供應。

10.根據權利要求8所述的方法，其中，所述RF功率的供應的控制包括阻斷所述RF功率的供應。

11.根據權利要求8所述的方法，其中，所述RF功率的供應的控制包括減小并且然后阻斷所述RF功率的供應。

12.根據權利要求7所述的方法，所述方法進一步包括：檢測從所述電源供應到所述等離子體室的所述RF功率的反射功率值的步驟，以及基于所檢測的反射功率值確定電弧是否產生的步驟。