[發明專利]超高分辨率光柵尺

有效

• 申請號: 201310122926.3
• 申請日: 2013-04-10
• 公開（公告）號: CN103234456A
• 公開（公告）日: 2013-08-07
• 發明（設計）人: 魏澤鼎;石建玲;張弛
• 申請（專利權）人: 河北科技大學
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 石家莊冀科專利商標事務所有限公司 13108
• 代理人: 李羨民;高錫明

1.一種超高分辨率光柵尺，其特征是，它包括平面光源（4）以及垂直于平面光源（4）的照射方向并沿平面光源（4）的照射方向依次排列且彼此平行的定光柵（1）、動光柵（2）和線陣CCD傳感器（3），所述線陣CCD傳感器（3）與動光柵（2）并排固定在一起，所述線陣CCD傳感器的感光單元的長度與動光柵（2）的長度相對應；在定光柵的柵格數為N-1的長度上動光柵的柵格數恰好是N個柵格，即動光柵的柵距等于定光柵的柵距*?[(n-1）/?n],其中n是在動光柵長度內所能刻畫出的光柵數。

2.根據權利要求1所述的超高分辨率光柵尺，其特征是，所述線陣CCD傳感器（3）的感光區域長度大于或等于動光柵的（2）長度。

3.根據權利要求1或2所述的超高分辨率光柵尺，其特征是，所述線陣CCD傳感器（3）的感光單元距離等于動光柵（2）的柵距。