[發明專利]大動態測量范圍的波前測量系統及其測量方法

無效

• 申請號: 201310120246.8
• 申請日: 2013-04-09
• 公開（公告）號: CN104101435A
• 公開（公告）日: 2014-10-15
• 發明（設計）人: 王何立穎
• 申請（專利權）人: 鴻富錦精密工業（深圳）有限公司;鴻海精密工業股份有限公司
• 主分類號: G01J9/00
• 分類號: G01J9/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種大動態范圍的波前測量系統，用于激光光束波前的測量，其特征在于，包括：測量單元、數據處理單元及控制單元，該控制單元控制該測量單元移動至不同位置于待測激光光束中擷取一取樣光束并將測量數據輸出給數據處理單元，數據處理單元根據測量單元測量的該一取樣光束的測量數據計算出該取樣光束的前進方向，其中，該測量單元包括波前分割取樣元件、聚光元件及光電傳感器，該波前分割取樣元件、聚光元件和光電傳感器整合在一起形成測量單元。

2.如權利要求1所述的大動態范圍的波前測量系統，其特征在于，所述波前分割取樣元件為具有一微型針孔的擋光板，該微型針孔的直徑遠小于該激光光束的直徑，用于于該激光光束中擷取一取樣光束。

3.如權利要求2所述的大動態范圍的波前測量系統，其特征在于，所述聚光元件為一微型透鏡，該微透鏡設置在微型針孔中。

4.如權利要求1所述的大動態范圍的波前測量系統，其特征在于，所述光電傳感器設置在聚光元件的后面，光電傳感器的光敏面位于聚光元件的焦平面上，用于采集所述取樣光束聚焦在光電感測器光敏面上的光斑的位置信息。

5.如權利要求4所述的大動態范圍的波前測量系統，其特征在于，所述光電傳感器為CCD傳感器或COMS傳感器。

6.如權利要求4所述的大動態范圍的波前測量系統，其特征在于，所述數據處理單元根據光電感測器所采集取樣光束的光斑的位置信息計算出光斑的質心坐標并進一步計算出該取樣光束的前進方向。

7.一種大動態范圍波前測量方法，用于測量激光光波前，其特征在于，包括以下步驟：

對入射激光光束進行分割取樣，于入射激光光束中擷取一待測取樣光束；

將所述取樣光束聚焦在一光電傳感器的光敏面上；

采集所述取樣光束聚焦在光電感測器光敏面上的光斑的位置信息，計算出該光斑的質心坐標并進一步計算出該取樣光束的前進方向；

在偵測平面內不同的位置，擷取另一待測取樣光束，重復上述步驟，測量該偵測平面內的該另一待測取樣光束。