[發明專利]基板分斷裝置及基板分斷裝置的基板搬送方法

有效

• 申請號: 201310116487.5
• 申請日: 2013-04-03
• 公開（公告）號: CN103449714A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發明（設計）人: 西尾仁孝
• 申請（專利權）人: 三星鉆石工業股份有限公司
• 主分類號: C03B33/02
• 分類號: C03B33/02;C03B35/00
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種基板分斷裝置，其特征在于其包含：

第1傳送部及第2傳送部，在設置臺上，沿基板的搬送方向即第1方向相互地隔著間隔配置，且具備在載置該基板的狀態下卷繞于多個輥子而進行旋轉的帶部；

刻劃單元，設置于該第1傳送部與第2傳送部之間并對該基板進行刻劃；以及

跳動輥子單元，在該第1方向，設置在位于該第2傳送部的上游側的上游側第2傳送部與位于下游側的下游側第2傳送部之間，且至少具備第1輥子及第2輥子；

該第1輥子位于該第2傳送部的帶部外側，且該第2輥子位于該第2傳送部的帶部內側；

該第1輥子及該第2輥子，在與該第1方向交叉的第2方向，形成為可相互地往相反方向移動，且形成為一體的該上游側第2傳送部與該下游側第2傳送部，可成為互為不同的動作狀態。

2.如權利要求1所述的基板分斷裝置，其特征在于其中該第1輥子及第2輥子，在該第2方向相互地往相反方向移動時，該第1輥子的移動距離與第2輥子的移動距離相同。

3.如權利要求1所述的基板分斷裝置，其特征在于其中該第1輥子及第2輥子的至少一者，一邊維持該第2傳送部的帶部張力，一邊與該帶部接觸。

4.如權利要求1所述的基板分斷裝置，其特征在于其中該第1輥子及第2輥子，在夾著與齒輪驅動馬達連結的小齒輪而相互地對向配置的狀態下，分別與嚙合于該小齒輪的第1齒條及第2齒條結合。

5.如權利要求1所述的基板分斷裝置，其特征在于其中在該多個輥子中包含第3輥子，該第3輥子卷繞有該下游側第2傳送部的帶部，且該第3輥子連結帶部驅動馬達。

6.如權利要求1所述的基板分斷裝置，其特征在于其中在該跳動輥子單元中，設置有使該上游側第2傳送部的帶部的旋轉停止的第1制動器，以及使該下游側第2傳送部的帶部的旋轉停止的第2制動器。

7.一種基板搬送方法，在包含具備在設置臺上沿基板的搬送方向即第1方向相互地隔著間隔配置且在載置該基板的狀態下卷繞于多個輥子而進行旋轉的帶部的第1傳送部及第2傳送部，以及設置于該第1傳送部與該第2傳送部之間并對該基板進行刻劃的刻劃單元的基板分斷裝置中，將載置于該第2傳送部的帶部上的基板往該第1方向進行搬送，其特征在于：

在該基板分斷裝置中，在該第1方向，在位于該第2傳送部的上游側的上游側第2傳送部與位于下游側的下游側第2傳送部之間，具備在與該第1方向交叉的第2方向可相互地往相反方向移動的至少具有第1輥子與第2輥子的跳動輥子單元；

在使該第1輥子位于該第2傳送部的帶部外側，且使該第2輥子位于該第2傳送部的帶部內側的狀態下，使該第1輥子與第2輥子相互地往相反方向移動，借此使形成為一體的該上游側第2傳送部與下游側第2傳送部以互為不同的方式動作。

8.如權利要求7所述的基板搬送方法，其特征在于其中借由該第1輥子與第2輥子的往返移動，在使該下游側第2傳送部的帶部停止的狀態下，使該上游側第2傳送部的帶部往順時針方向或逆時針方向旋轉，且對載置于該上游側第2傳送部的帶部上的基板進行刻劃；

在該進行刻劃的階段，對置于停止狀態的下游側第2傳送部的帶部上的完成刻劃的基板進行卸載；

借由一邊使卷繞有該下游側第2傳送部的帶部的第3輥子旋轉，一邊使該第1輥子及第2輥子移動，在使上游側第2傳送部的帶部停止的狀態下，使該下游側第2傳送部的帶部旋轉，對留置于該下游側第2傳送部的帶部上的端材進行卸載；

亦在該端材卸載后，使該第3輥子持續旋轉，使載置于該上游側第2傳送部的帶部上的完成刻劃的基板往該下游側第2傳送部的帶部上進行搬送。

9.如權利要求8所述的基板搬送方法，其特征在于其中該第3輥子連結帶部驅動馬達，且在對該基板進行刻劃的階段，使該帶部驅動馬達的動作停止。

10.如權利要求9所述的基板搬送方法，其特征在于其中在對該端材進行卸載的階段，使該帶部驅動馬達動作。

11.如權利要求8所述的基板搬送方法，其特征在于其中在該跳動輥子單元，設置使該上游側第2傳送部的帶部的旋轉停止的第1制動器，以及使該下游側第2傳送部的帶部的旋轉停止的第2制動器，且在對該基板進行刻劃的階段，使該第2制動器動作。