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[發(fā)明專利]堿可溶樹脂及其制備方法、光刻膠組合物有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201310116385.3 申請日: 2013-04-03
公開(公告)號: CN103232603A 公開(公告)日: 2013-08-07
發(fā)明(設(shè)計)人: 王雪嵐;唐琛;常珊 申請(專利權(quán))人: 京東方科技集團股份有限公司
主分類號: C08G81/02 分類號: C08G81/02;C08G65/00;G03F7/027
代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112 代理人: 羅建民;陳源
地址: 100015 *** 國省代碼: 北京;11
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 可溶 樹脂 及其 制備 方法 光刻 組合
【權(quán)利要求書】:

1.一種堿可溶樹脂,其特征在于,所述的堿可溶樹脂為丙烯酸堿可溶樹脂接枝聚醚鏈。

2.如權(quán)利要求1所述的堿可溶樹脂,其特征在于,所述的聚醚鏈結(jié)構(gòu)式如下:

其中:n為7-30范圍內(nèi)的整數(shù)。

3.如權(quán)利要求1所述的堿可溶樹脂,其特征在于,所述的丙烯酸堿可溶樹脂采用包括甲基丙烯酸酯、胺改性丙烯酸酯、多環(huán)芳側(cè)基丙烯酸堿可溶樹脂、高支化堿溶型丙烯酸化聚酯中的任意一種。

4.如權(quán)利要求1所述的堿可溶樹脂,其特征在于,所述的堿可溶樹脂的結(jié)構(gòu)式中的碳原子數(shù)小于100。

5.一種如權(quán)利要求1-4任一所述的堿可溶樹脂的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:

1)己二酸活化物的制備

將己二酸、1,3-二溴-5,5-二甲基海因在溶劑二氯甲烷中反應獲得1-溴己酸;將1-溴己酸與氫氧化鈉反應獲得1-羥基己酸鈉;將1-羥基己酸鈉與丙烯酰氯反應獲得己二酸活化物;

2)含聚醚鏈的一元酸的制備

將聚乙二醇和己二酸活化物在溶劑N,N-二甲基甲酰胺中進行反應獲得含聚醚鏈的一元酸;

3)含聚醚鏈的丙烯酸堿可溶樹脂的制備

將含聚醚鏈的一元酸和丙烯酸堿可溶樹脂在N,N-二甲基甲酰胺溶劑中進行反應獲得含聚醚鏈的丙烯酸堿可溶樹脂。

6.如權(quán)利要求5所述的堿可溶樹脂的制備方法,其特征在于,步驟2中聚乙二醇、己二酸活化物的質(zhì)量份數(shù)之比的范圍為1︰0.5至1︰0.95。

7.如權(quán)利要求5所述的堿可溶樹脂的制備方法,其特征在于,步驟3中含聚醚鏈的一元酸、丙烯酸堿可溶樹脂的質(zhì)量份數(shù)之比的范圍為1︰0.45至1︰0.83。

8.一種光刻膠組合物,其特征在于,所述的光刻膠組合物包括如權(quán)利要求1-4任一所述的堿可溶樹脂。

9.如權(quán)利要求8所述的光刻膠組合物,其特征在于,所述的光刻膠組合物,包括以下質(zhì)量百分比的組分:

堿可溶樹脂:7%-24%;

光活性化合物:10%-22%;

光致引發(fā)劑:1.3%-12.5%。

10.如權(quán)利要求8所述的光刻膠組合物,其特征在于,所述的光致引發(fā)劑包括安息香類物質(zhì)、二苯甲酮類物質(zhì)、蒽醌類物質(zhì)的一種或幾種。

11.如權(quán)利要求8所述的光刻膠組合物,其特征在于,所述的光活性化合物包括雙季戊四醇五丙烯酸酯、雙季戊四醇六丙烯酸酯、異戊四醇四丙烯酸酯、乙氧基化異戊四醇四丙烯酸酯中的一種或幾種。

12.如權(quán)利要求8所述的光刻膠組合物,其特征在于,所述的光刻膠組合物,還包括溶劑組分,所述的溶劑包括丙二酮甲醚醋酸酯、丙二醇二乙酸酯、3-乙氧基-3-亞胺丙酸乙酯、2-庚烷、3-庚烷、環(huán)戊酮、環(huán)己酮中的一種或幾種。

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