[發明專利]PCB曝光機的糾偏均分對位方法有效
| 申請號： | 201310114799.2 | 申請日： | 2013-04-03 |
| 公開（公告）號： | CN103217876A | 公開（公告）日： | 2013-07-24 |
| 發明（設計）人： | 張方德;王玉璋;賀興志;鐘靖 | 申請（專利權）人： | 浙江歐視達科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F9/00 | 分類號： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 溫州金甌專利事務所(普通合伙) 33237 | 代理人： | 黃肇平 |
| 地址： | 325000 浙江省溫州市高新技*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | pcb 曝光 糾偏 均分 對位 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種PCB曝光機的糾偏均分對位方法，其特征在于：所述糾偏均分對位方法步驟包括：
利用CCD成像技術，得到上、下菲林的對位靶標點的中心點坐標；
利用CCD成像技術，通過對上、下菲林得到的對位靶標點的中心點坐標進行距離計算，分別得出上、下菲林的四個對位靶標點的偏移距離值d；
建立數據模型，設定對位靶標點的坐標為（x，y），偏移角度為????????????????????????????????????????????????，x1為x方向的偏移量，y1為y方向的偏移量，（xi,yi）為經過矩陣變化后的對位靶標點的坐標，根據公式：
利用序列二次規劃算法求得對位靶標點的x方向的偏移量x1、y方向的偏移量y1、偏移角度，其中p為靶標點；
根據公式
對上一步得出的對位靶標點的x方向的偏移量x1和y方向的偏移量y1進行校正，得到最終的對位靶標點的x方向的偏移量tx、y方向的偏移量ty、偏移角度，驅動PCB曝光機的對位裝置沿x方向移動tx，沿y方向移動ty，按照偏移角度旋轉；
根據最終的對位靶標點的x方向的偏移量tx、y方向的偏移量ty、偏移角度，根據公式
求得最終變化后的坐標，并跟偏移后的實際位置進行坐標驗證。
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