[發(fā)明專利]一種COA陣列基板的制備方法、陣列基板及顯示裝置

在審

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• 申請日: 2013-03-29
• 公開（公告）號: CN103258793A
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 齊永蓮;舒適;惠官寶
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號: H01L21/77
• 分類號: H01L21/77;H01L27/12;H01L27/32;G02F1/136
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 羅建民;陳源

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于液晶顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種COA陣列基板的制備方法、陣列基板及顯示裝置。?

背景技術(shù)

COA陣列基板是指將彩色濾光層13制作在TFT基底11（TFT基底包括基底111、薄膜晶體管（TFT）112）上，通過該設(shè)計(jì)，可以減小黑矩陣的寬度，提高顯示區(qū)域的開口率，現(xiàn)有的COA陣列基板的結(jié)構(gòu)如圖1所示，圖2為形成過孔15的曝光過程的示意圖。?

目前將彩色濾光層制作在TFT基底上的方法主要通過構(gòu)圖工藝或噴墨打印法，目前采用的噴墨打印法均需要單獨(dú)制作擋墻結(jié)構(gòu)，在制作完彩色濾光層13（彩色濾光層制作需要在TFT基底上涂覆保護(hù)層12后，再通過構(gòu)圖工藝形成。）后再將擋墻去除，之后制作平坦化層14，形成COA陣列基板結(jié)構(gòu)，同時(shí)還需要單獨(dú)的構(gòu)圖工藝形成過孔15，因此該工藝過程復(fù)雜，生產(chǎn)效率低，成本較高。?

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題包括，針對現(xiàn)有的陣列基板的制備方法復(fù)雜、生產(chǎn)效率低、成本較高的問題，提供一種可以減少制造工藝、降低成本，提高生產(chǎn)效率的陣列基板的制備方法、陣列基板及顯示裝置。?

解決本發(fā)明技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種COA陣列基板的制備方法，包括TFT基底和設(shè)置在TFT基底上的彩色濾光層，包括如下步驟：在TFT基底上的保護(hù)層上涂光刻膠層，所述光刻?膠層同時(shí)作為平坦化層；通過光刻工藝在光刻膠層中形成彩膜容納孔；在彩膜容納孔中制作彩色濾光層。?

本發(fā)明中光刻膠層的流動(dòng)性好，故段差很小，所以光刻膠層可以同時(shí)作為平坦化層，通過構(gòu)圖工藝，將光刻膠層曝光、顯影，形成包括彩膜容納孔的圖形，與現(xiàn)有的陣列基板的制備方法相比較不用單獨(dú)制作平坦化層，故其工藝步驟簡單，同時(shí)節(jié)約成本。?

優(yōu)選的是，所述在彩膜容納孔中制作彩色濾光層的方法為噴墨打印法。?

優(yōu)選的是，還包括：在所述COA陣列基板上形成過孔。?

進(jìn)一步優(yōu)選的是，所述COA陣列基板為OLED陣列基板，所述在所述COA陣列基板上形成過孔包括：采用一次構(gòu)圖工藝形成彩膜容納孔和第一通孔，所述第一通孔貫穿平坦層；對第一通孔區(qū)域的保護(hù)層進(jìn)行刻蝕，形成露出薄膜晶體管的漏極的過孔；在彩色濾光層上制作OLED陽極，所述OLED陽極通過所述過孔與薄膜晶體管的漏極連接。?

進(jìn)一步優(yōu)選的是，所述陣列基板為TFT-LCD陣列基板，所述在所述COA陣列基板上形成過孔包括：采用一次構(gòu)圖工藝形成彩膜容納孔和第一通孔，所述第一通孔貫穿平坦層；對第一通孔區(qū)域的保護(hù)層進(jìn)行刻蝕，形成露出薄膜晶體管的漏極的過孔；在彩色濾光層上制作像素電極，所述像素電極通過所述過孔與薄膜晶體管的漏極連接。?

解決本發(fā)明技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種COA陣列基板，包括位于保護(hù)層12上的光刻膠層21，所述光刻膠層21同時(shí)作為平坦化層，且其中形成有彩膜容納孔32，彩膜容納孔32中形成有彩色濾光層13。?

由于本發(fā)明的陣列基板的光刻膠層不僅在其中形成彩膜容納孔，同時(shí)又作為平坦化層，所以該陣列基板的成本低。?

優(yōu)選的是，所述COA陣列基板為OLED基板，所述COA陣列基板上還設(shè)置有過孔，OLED陽極通過所述過孔與OLED基板上的薄膜晶體管的漏極連接。?

優(yōu)選的是，所述陣列基板為TFT-LCD陣列基板，所述COA陣列基板上還設(shè)置有過孔，像素電極通過所述過孔與TFT-LCD陣列基板上的薄膜晶體管的漏極連接。?

解決本發(fā)明技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種顯示裝置，包括上述陣列基板。?

由于該顯示裝置包括上述陣列基板，所以成本低，制作工藝步驟簡化。?

附圖說明

圖1為現(xiàn)有的COA陣列基板的示意圖；?

圖2為本發(fā)明實(shí)施例1的陣列基板制備方法中對COA陣列基板的光刻膠層曝光的示意圖；?

圖3為本發(fā)明實(shí)施例1的COA陣列基板制備方法中對COA陣列基板的光刻膠層曝光后的示意圖；?

圖4為本發(fā)明實(shí)施例1的COA陣列基板制備方法中制作COA陣列基板彩色濾光層的示意圖；以及，?

圖5為本發(fā)明實(shí)施例1的COA陣列基板制備方法中制作COA陣列基板上過孔的示意圖。?

其中附圖標(biāo)記為：11、TFT基底；111、基底；112、薄膜晶體管；12、保護(hù)層；13、彩色濾光層；14、平坦化層；15、過孔；21、光刻膠層；22、掩膜板；31、第一通孔；32、彩膜容納孔。?

具體實(shí)施方式