[發明專利]重載荷柔性支撐裝置有效
| 申請號： | 201310103211.3 | 申請日： | 2013-03-27 |
| 公開（公告）號： | CN104076612A | 公開（公告）日： | 2014-10-01 |
| 發明（設計）人： | 王璟;王茜;季采云 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 載荷 柔性 支撐 裝置 | ||
1.一種重載荷柔性支撐裝置，其特征在于，包括三組柔性機構，所述三組柔性機構支撐物鏡，并呈等腰三角形布置在光刻機的主基板上；所述三組柔性機構的垂向剛度間為并聯關系；所述三組柔性機構的水平向剛度間為并聯關系；
所述柔性機構包括：頂部橫梁和兩條側面豎梁，所述頂部橫梁的兩端分別與對稱設置的兩條側面豎梁相連；
所述頂部橫梁上至少設有一組中心軸為Y向的第一柔性鉸鏈和一組中心軸為Z向的第二柔性鉸鏈，其中，第一柔性鉸鏈靠近所述頂部橫梁的中心，第二柔性鉸鏈靠近側面豎梁；
所述側面豎梁上至少設有一組中心軸為X向的第三柔性鉸鏈；
所述第一、第二和第三柔性鉸鏈統稱為柔性鉸鏈；所述柔性鉸鏈的剛度之間為串聯關系。
2.如權利要求1所述的重載荷柔性支撐裝置，其特征在于，所述等腰三角形包含一條底邊和兩條斜邊，位于所述底邊兩端點處的兩組柔性機構以等腰三角形的中線為中心對稱分布，所述等腰三角形頂點處的柔性機構與等腰三角形底邊兩端點處的兩組柔性機構平行、垂直或呈角度布置。
3.如權利要求1所述的重載荷柔性支撐裝置，其特征在于，所述頂部橫梁的中心至少設有一物鏡接口。
4.如權利要求3所述的重載荷柔性支撐裝置，其特征在于，所述兩條側面豎梁的底部分別至少設有一主基板接口。
5.如權利要求3所述的重載荷柔性支撐裝置，其特征在于，所述兩條側面豎梁的底部通過一底部橫梁相連。
6.如權利要求3所述的重載荷柔性支撐裝置，其特征在于，所述第一柔性鉸鏈與所述物鏡接口邊緣的距離不小于5mm。
7.如權利要求1所述的重載荷柔性支撐裝置，其特征在于，所述柔性機構采用機床加工而成。
8.如權利要求1所述的重載荷柔性支撐裝置，其特征在于，所述柔性機構采用彈簧鋼或殷鋼。
9.如權利要求1所述的重載荷柔性支撐裝置，其特征在于，所述柔性機構的長度為150mm～250mm，寬度為20mm～50mm，高度為80mm～150mm。
10.如權利要求8所述的重載荷柔性支撐裝置，其特征在于，所述頂部橫梁和側面豎梁的厚度為8～12mm。
11.如權利要求1所述的重載荷柔性支撐裝置，其特征在于，所述柔性鉸鏈的截面形式包括圓形、直梁形、倒圓角直梁形或者漸變收縮形。
12.如權利要求11所述的重載荷柔性支撐裝置，其特征在于，所述柔性鉸鏈的截面為圓形時，所述圓形的直徑為6～30mm。
13.如權利要求1所述的重載荷柔性支撐裝置，其特征在于，第三柔性鉸鏈與所述側面豎梁底面的距離不小于8mm。
14.如權利要求1所述的重載荷柔性支撐裝置，其特征在于，還包括阻尼器，所述阻尼器安裝在所述物鏡與主基板之間。
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