[發(fā)明專利]物品保管設(shè)備以及物品運送設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310099182.8
• 申請日: 2013-03-26
• 公開（公告）號: CN103359438B
• 公開（公告）日: 2018-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吉岡秀郎;菅野崇道
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社大福
• 主分類號: B65G1/04
• 分類號: B65G1/04;B65G1/137
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 崔幼平,楊楷

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種物品保管設(shè)備以及具備該物品保管設(shè)備的物品運送設(shè)備，其中，物品保管設(shè)備設(shè)有保管半導(dǎo)體晶片以及標(biāo)線片的保管架和入出庫用運送裝置。

背景技術(shù)

上述這種物品保管設(shè)備在保管半導(dǎo)體晶片以及用于對半導(dǎo)體晶片進行曝光處理的標(biāo)線片（reticule）中使用。即，保管的半導(dǎo)體晶片以及標(biāo)線片在從保管架上出庫后向曝光處理裝置運送。

另外，曝光處理后的半導(dǎo)體晶片向進行下一處理的處理裝置運送，但也存在為了暫時保管而入庫到保管架上保管的情況及保管在其它的保管架上的情況。

而且，使用后的標(biāo)線片一般再入庫到保管架上保管。

在日本國特開2000-91401號公報（專利文獻(xiàn)1）中公開了這種物品保管設(shè)備的一例。

根據(jù)專利文獻(xiàn)1的結(jié)構(gòu)，半導(dǎo)體晶片以收納在晶片收納容器中的狀態(tài)保管在保管架的盒架上，標(biāo)線片保持原狀態(tài)或者以載置在標(biāo)線片裝載夾具上的狀態(tài)保管在保管架的標(biāo)線片架上。而且，在保管架上保管有形式與晶片收納容器相同的空的收納容器。

入出庫用運送裝置具備保持晶片收納容器的盒用把手，保持標(biāo)線片裝載夾具的標(biāo)線片用把手，以及開閉形式與晶片收納容器相同的空的收納容器的蓋的開閉機構(gòu)。

并且，在將晶片收納容器出庫之際，入出庫用運送裝置將晶片收納容器從盒架向入出庫口運送。

而且，在將標(biāo)線片出庫之際，入出庫用運送裝置預(yù)先將形式與晶片收納容器相同的空的收納容器從保管架上取出并打開蓋。然后，入出庫用運送裝置將從標(biāo)線片架上取出的標(biāo)線片或者載置有標(biāo)線片的標(biāo)線片裝載夾具收納在打開了蓋的空的收納容器中，之后將該收納容器關(guān)閉蓋后向入出庫口運送。

在專利文獻(xiàn)1中，針對入庫作業(yè)沒有詳細(xì)的說明，但認(rèn)為是在將晶片收納容器入庫之際，入出庫用運送裝置將晶片收納容器從入出庫口向盒架運送的結(jié)構(gòu)。

而且認(rèn)為是如下的結(jié)構(gòu)，即、在將標(biāo)線片入庫之際，入出庫用運送裝置從入出庫口取出收納了標(biāo)線片或者載置有標(biāo)線片的標(biāo)線片裝載夾具的收納容器，卸下該取出的收納容器的蓋，從該卸下蓋的容器中取出標(biāo)線片或者載置有標(biāo)線片的標(biāo)線片裝載夾具并向標(biāo)線片架運送。并且，入出庫用運送裝置在取出了標(biāo)線片或者載置有標(biāo)線片的標(biāo)線片裝載夾具后的空的收納容器上加蓋，將該空的收納容器收納在保管架上。

而且，專利文獻(xiàn)1中針對盒用把手支撐晶片收納容器的結(jié)構(gòu)、標(biāo)線片用把手支撐標(biāo)線片或者標(biāo)線片裝載夾具的結(jié)構(gòu)沒有具體地說明，但參照附圖的記載，可認(rèn)為盒用把手是載置支撐晶片收納容器的結(jié)構(gòu)，標(biāo)線片用把手是載置支撐標(biāo)線片或者標(biāo)線片裝載夾具的結(jié)構(gòu)。

另外，在專利文獻(xiàn)1中，例示了在晶片收納容器的上部裝備有頂部凸緣。

并且，雖然沒有詳細(xì)的說明，但記載了如下的物品運送設(shè)備，即、通過天花板行駛式無人運送車將收納了標(biāo)線片或者載置有標(biāo)線片的標(biāo)線片裝載夾具的收納容器向作為曝光處理裝置的半導(dǎo)體曝光裝置運送。

在專利文獻(xiàn)1的物品保管設(shè)備中，難以迅速地進行標(biāo)線片的出庫作業(yè)及入庫作業(yè)，而且入出庫用運送設(shè)備為復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，希望得到改進。

即，在將標(biāo)線片出庫之際，需要將空的收納容器從保管架上取出并打開蓋的工序，將從標(biāo)線片架上取出的標(biāo)線片或者載置有標(biāo)線片的標(biāo)線片裝載夾具收納到已開蓋的空的收納容器中的工序，關(guān)閉該收納容器的蓋的工序，以及將蓋關(guān)閉后的收納容器向入出庫口運送的工序，所以不能夠迅速地進行標(biāo)線片的出庫作業(yè)。

而且，在將標(biāo)線片入庫之際，需要從入出庫口取出收納了標(biāo)線片或者裝置有標(biāo)線片的標(biāo)線片裝載夾具的收納容器并打開該收納容器的蓋的工序，從開蓋后的收納容器中取出標(biāo)線片或者載置有標(biāo)線片的標(biāo)線片裝載夾具并收納在標(biāo)線片架上的工序，關(guān)閉從取出了標(biāo)線片或者載置有標(biāo)線片的標(biāo)線片裝載夾具的收納容器的蓋的工序，以及將蓋關(guān)閉后的收納容器收納在保管架上的工序，所以不能夠迅速地進行標(biāo)線片的入庫作業(yè)。

而且，由于在入出庫用運送裝置上要具備保持晶片收納容器的盒用把手，保持標(biāo)線片裝載夾具的標(biāo)線片用把手，以及開閉形式與晶片收納容器相同的空的收納容器的蓋的開閉機構(gòu)，所以入出庫用運送裝置的結(jié)構(gòu)復(fù)雜。

鑒于上述背景，希望實現(xiàn)既能夠迅速地進行半導(dǎo)體晶片以及標(biāo)線片的入出庫作業(yè)、又能夠謀求入出庫用運送裝置的結(jié)構(gòu)簡單化的物品保管設(shè)備。

另外，也希望實現(xiàn)能夠謀求設(shè)備整體的簡單化的物品運送設(shè)備。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的物品保管設(shè)備具備保管半導(dǎo)體晶片和標(biāo)線片的保管架，以及入出庫用運送裝置，

在上述保管架上裝備有第1收納部，保管收納上述半導(dǎo)體晶片的晶片收納容器，