[發明專利]具有微流道結構的單腔雙電極放電腔

無效

• 申請號: 201310098330.4
• 申請日: 2013-03-26
• 公開（公告）號: CN103199412A
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 丁金濱;劉斌;王宇;周翊;趙江山
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電研究院
• 主分類號: H01S3/03
• 分類號: H01S3/03;H01S3/036
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

1.一種單腔雙電極放電腔，包括腔體(1)和位于腔體(1)內的風機和兩套主放電電極，其特征在于：

所述腔體(1)包括左右兩室，以形成對稱的雙室結構腔形，每個室的截面形狀均為上小下大的形狀，所述左右兩室在整個放電腔的對稱面處交界并連通；

所述兩套主放電電極分別位于左右兩室，所述每套主放電電極都包括一個陽極(6)和一個陰極(3)，所述陽極(6)與所述陰極(3)的放電表面之間形成一個放電區(2)，且所述放電區(2)分別位于所述左右兩室的上部；

所述風機驅動所述放電腔內的氣體經過所述放電電極而進行流動，從而形成一個主氣流，在所述主氣流的流道的兩側存在凹陷區；

在所述主氣流的流道兩側設置有微流道，所述微流道具有用于氣體流入的入口和用于氣體流出的出口，所述入口位于所述主氣流的下游，所述出口朝向所述凹陷區。

2.如權利要求1所述的單腔雙電極放電腔，其特征在于：

所述陰極(3)安裝在一個絕緣板(5)上，所述絕緣板(5)吊裝在所述左右兩室的頂端；

所述陽極(6)固定在一個陽極基座(14)上，所述陽極基座固定在所述腔體(1)上，其位置使得所述陽極(6)與所述陰極(3)平行且正對。

3.如權利要求1所述的單腔雙電極放電腔，其特征在于，在所述兩套放電電極的兩側設置有導流板，所述微流道設置有所述導流板上，并且所述微流道的出口朝向所述導流板與所述放電電極之間的間隙。

4.如權利要求1所述的單腔雙電極放電腔，其特征在于，所述放電腔內還包括有一個預電離裝置，其支撐于所述導流板與所述放電電極之間，所述微流道的出口朝向該預電離裝置。

5.如權利要求4所述的用于單腔雙電極放電腔，其特征在于，在所述陰極和/或陽極的位于所述主氣流的下側一側的導流板上設置所述微流道。

6.如權利要求1所述的單腔雙電極放電腔，其特征在于，所述微流道是一個槽群，所述槽群是指多個平行排列的凹槽。

7.如權利要求6所述的單腔雙電極放電腔，其特征在于，所述凹槽之間具有隔板，所述預電離裝置支撐于所述隔板上。

8.如權利要求6所述的單腔雙電極放電腔，其特征在于，所述凹槽的寬度不低于10mm，深度不小于3mm，相鄰凹槽間的距離不大于2mm。