[發明專利]一種制備鉬靶的方法

有效

• 申請號: 201310098029.3
• 申請日: 2013-03-26
• 公開（公告）號: CN103132033A
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 王林;朱琦;楊秦莉;王娜
• 申請（專利權）人: 金堆城鉬業股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 西安創知專利事務所 61213
• 代理人: 譚文琰

1.一種制備鉬靶的方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：

步驟一、將鉬粉壓制成鉬坯料，然后將鉬坯料置于高溫爐內，在爐內壓力不大于1×10^-1Pa的條件下進行預燒結，隨爐冷卻后得到預燒結坯；所述預燒結的過程為：將高溫爐升溫至800℃～1100℃后保溫0.5h～20h，然后繼續升溫至1100℃～1500℃后保溫0.5h～20h，再繼續升溫至1500℃～2000℃后保溫0.5h～20h，所述升溫的速率為1℃/秒～20℃/秒；

步驟二、將步驟一中所述預燒結坯置于高溫爐內，在真空條件下或氣氛保護條件下進行燒結，得到質量純度不小于99.97%的高純鉬金屬坯；所述燒結的過程為：將高溫爐升溫至1600℃～2300℃后保溫0.5h～20h，所述升溫的速率為1℃/秒～20℃/秒；

步驟三、將步驟二中所述高純鉬金屬坯送入溫度為900℃～1500℃的馬弗爐中，在氫氣氣氛保護下加熱30min～120min，然后對加熱后的高純鉬金屬坯進行壓力加工，得到鉬板；

步驟四、將步驟三中所述鉬板加熱至800℃～1300℃后保溫熱處理30min～240min，冷卻后進行機械加工；

步驟五、將步驟四中經機械加工后的鉬板清洗干凈，然后采用金屬銦或含有金屬銦的混合物作為粘接劑將清洗干凈的鉬板與金屬背板綁定，得到鉬靶。

2.根據權利要求1所述的一種制備鉬靶的方法，其特征在于，步驟一中所述預燒結的最高溫度不高于步驟二中所述燒結的溫度。

3.根據權利要求1所述的一種制備鉬靶的方法，其特征在于，步驟二中所述氣氛保護的氣體為氫氣和/或惰性氣體。

4.根據權利要求1所述的一種制備鉬靶的方法，其特征在于，步驟二中所述氣氛保護的氣體的露點不高于0℃。

5.根據權利要求1所述的一種制備鉬靶的方法，其特征在于，步驟二中所述高純鉬金屬坯的密度不小于9.5g/cm³。

6.根據權利要求1所述的一種制備鉬靶的方法，其特征在于，步驟二中所述高純鉬金屬坯中O的質量含量不高于30ppm，C的質量含量不高于20ppm；步驟二中所述高純鉬金屬坯中熔點不高于2000℃的雜質元素的質量含量均不高于20ppm。

7.根據權利要求1所述的一種制備鉬靶的方法，其特征在于，步驟四中所述熱處理在真空條件或氣氛保護下進行。

8.根據權利要求7所述的一種制備鉬靶的方法，其特征在于，所述氣氛為氫氣和/或惰性氣體。

9.根據權利要求1所述的一種制備鉬靶的方法，其特征在于，步驟五中所述含有金屬銦的混合物為銦的質量含量不小于50%的混合物。

10.根據權利要求1所述的一種制備鉬靶的方法，其特征在于，步驟五中所述金屬背板為銅背板或不銹鋼背板。