[發(fā)明專利]潔凈室的空調(diào)控制方法與其裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310095935.8
• 申請(qǐng)日: 2013-03-22
• 公開（公告）號(hào): CN103375881A
• 公開（公告）日: 2013-10-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田端大助;花本大樹
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): F24F11/00
• 分類號(hào): F24F11/00
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 宋俊寅

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種構(gòu)成工業(yè)用潔凈室等恒溫恒濕室的空氣調(diào)節(jié)過程。?

背景技術(shù)

對(duì)于例如半導(dǎo)體等的電子設(shè)備工廠那樣、生產(chǎn)環(huán)境條件會(huì)給產(chǎn)品品質(zhì)帶來較大影響的情況，將該生產(chǎn)設(shè)備配置在所謂的潔凈室內(nèi)，使其與外部環(huán)境阻斷，并進(jìn)行控制，使得生產(chǎn)環(huán)境成為所希望的溫度、濕度、壓力、潔凈度。?

圖11示出了半導(dǎo)體工廠中的空氣調(diào)節(jié)過程的代表性結(jié)構(gòu)。?

通常，空氣調(diào)節(jié)過程通過空調(diào)外機(jī)200及空調(diào)內(nèi)機(jī)300來使在潔凈室100內(nèi)流動(dòng)的氣氛空氣潔凈化、并對(duì)潔凈室100進(jìn)行空氣調(diào)節(jié)。所謂的空調(diào)外機(jī)是用于處理外界氣體負(fù)荷的空調(diào)機(jī)。所謂的空調(diào)內(nèi)機(jī)是用于處理內(nèi)部氣體負(fù)荷的空調(diào)機(jī)。?

即，通過將潔凈室100內(nèi)的一部分空氣導(dǎo)入空調(diào)內(nèi)機(jī)300中，從而由空調(diào)內(nèi)機(jī)300內(nèi)的冷卻器301將潔凈室100內(nèi)產(chǎn)生的熱去除。此外，將制造產(chǎn)品時(shí)產(chǎn)生的廢氣206排出到潔凈室100的系統(tǒng)外，并從空調(diào)外機(jī)200引入同等量的空氣，由空調(diào)外機(jī)200內(nèi)的空氣過濾器201對(duì)其進(jìn)行除塵，由冷卻盤管202對(duì)經(jīng)清潔化后的空氣進(jìn)行暫時(shí)冷卻以進(jìn)行除濕，并由加熱器203將除濕后的空氣加熱到所希望的溫度，并進(jìn)一步由加濕器204將被加熱到所希望的溫度的空氣加濕到所希望的濕度，從而使用空調(diào)外機(jī)風(fēng)扇205將其送出到潔凈室100側(cè)，并與從空調(diào)內(nèi)機(jī)300的冷卻器301送出的、除熱后的空氣進(jìn)行混合，最終作為目的溫度、濕度吹入至潔凈室100內(nèi)。?

潔凈室100的空氣吹出部101中設(shè)置有高性能的過濾器來進(jìn)行除塵，并且通過將內(nèi)部壓力維持在一定且高于系統(tǒng)外的水平，從而確保清潔度。?

另外，對(duì)于空調(diào)外機(jī)200的冷卻盤管202、及空調(diào)內(nèi)機(jī)300的冷卻器301，?連接有對(duì)其進(jìn)行控制用的冷凍機(jī)401～401c。此外，空調(diào)外機(jī)200的加熱器203、及加濕器204上連接有對(duì)其進(jìn)行控制用的鍋爐500。?

圖12是使用冷卻水熱量的冷凍機(jī)的工作臺(tái)數(shù)控制的結(jié)構(gòu)圖。?

提供給空調(diào)外機(jī)200的冷卻水由冷卻?

水提供系統(tǒng)400來制造并提供，對(duì)于冷凍機(jī)401a～401c的工作臺(tái)數(shù)，在冷凍機(jī)運(yùn)算部402a中，通過設(shè)置在冷卻水回流配管403中的流量計(jì)404來收集冷卻水流量；通過設(shè)置在冷卻水流入二次頭405中的溫度計(jì)406來收集冷卻水流入溫度，通過設(shè)置在冷卻水回流頭407中的溫度計(jì)408來收集冷卻水回流溫度，并且如圖13所示的熱量與冷凍機(jī)臺(tái)數(shù)的關(guān)系圖那樣，根據(jù)每一臺(tái)所構(gòu)成的冷凍機(jī)所能處理的熱量、和處理所需的熱量來決定冷凍機(jī)的工作臺(tái)數(shù)，并對(duì)冷凍機(jī)的臺(tái)數(shù)進(jìn)行控制，使得冷卻水的溫度為一定。?

對(duì)于使這種半導(dǎo)體工廠中的潔凈室實(shí)現(xiàn)節(jié)能化的情況，目前，例如在專利文獻(xiàn)1中提出了一種具有一般空調(diào)設(shè)備中的蓄熱槽的空調(diào)機(jī)的節(jié)能運(yùn)行相關(guān)、根據(jù)外界氣體比焓來計(jì)算應(yīng)當(dāng)提供的冷卻水溫度，并改變及控制冷凍機(jī)的冷卻水溫度的方案。?

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)?

專利文獻(xiàn)?

專利文獻(xiàn)1：日本專利特開平10-292943號(hào)公報(bào)?

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的技術(shù)問題?

然而，對(duì)于根據(jù)外界氣體比焓來改變冷凍機(jī)的冷卻水溫度的控制，由于冷凍機(jī)不會(huì)停止，因此需要使冷凍機(jī)附帶設(shè)備配合冷凍機(jī)的工作，并持續(xù)運(yùn)行。而且，雖然冷凍機(jī)的停止在冷凍機(jī)沒有熱負(fù)荷的情況下是有效的，但由于預(yù)測冷卻水負(fù)荷較為困難，且在因急劇的外界氣體條件的變化而使得需要冷凍機(jī)工作的情況下，冷凍機(jī)的啟動(dòng)也會(huì)相當(dāng)耗時(shí)，因此，為安全起見，即使在沒有熱負(fù)荷的狀況下，也使其繼續(xù)工作。?

有鑒于上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種在潔凈室的空調(diào)控制中，將外界氣體條件考慮在內(nèi)，并基于此來實(shí)現(xiàn)空調(diào)機(jī)的節(jié)能運(yùn)行、以及空調(diào)?機(jī)的構(gòu)成要素即冷凍機(jī)的節(jié)能運(yùn)行的潔凈室的空調(diào)控制方法。?

解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案?

本發(fā)明的潔凈室的空調(diào)控制方法的特征在于，在由空調(diào)外機(jī)將經(jīng)空氣調(diào)節(jié)后的空氣送入潔凈室來進(jìn)行空調(diào)控制時(shí)，基于所述空調(diào)外機(jī)所吸入的外界氣體的溫度和濕度、所述潔凈室的設(shè)置場所的氣象數(shù)據(jù)的預(yù)報(bào)值、即預(yù)報(bào)溫度和預(yù)報(bào)濕度，來計(jì)算此后的外界氣體預(yù)測溫度和外界氣體預(yù)測濕度，根據(jù)所述外界氣體預(yù)測溫度和所述外界氣體預(yù)測濕度來計(jì)算預(yù)測比焓及外界氣體預(yù)測露點(diǎn)，根據(jù)所述預(yù)測比焓和外界氣體預(yù)測溫度及外界氣體預(yù)測露點(diǎn)，來對(duì)向所述空調(diào)外機(jī)的冷卻盤管提供制冷劑的制冷劑提供裝置的運(yùn)行進(jìn)行控制。?