[發(fā)明專利]基于MEMS透射光閥的顯示裝置及其形成方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201310095739.0 | 申請(qǐng)日： | 2013-03-22 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN104058363A | 公開（公告）日： | 2014-09-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 毛劍宏;唐德明 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海麗恒光微電子科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B81C1/00 | 分類號(hào)： | B81C1/00;G02B26/02 |
| 代理公司： | 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 鄭瑋 |
| 地址： | 201203 上海市浦東新區(qū)張江*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 基于 mems 透射 顯示裝置 及其 形成 方法 | ||
1.一種基于MEMS透射光閥的顯示裝置的形成方法，其特征在于，包括下列步驟：
提供包括底層半導(dǎo)體、中間埋層和頂層半導(dǎo)體的多層復(fù)合半導(dǎo)體襯底；
在所述頂層半導(dǎo)體中形成導(dǎo)光口；
在所述頂層半導(dǎo)體剩余部分中制備至少一個(gè)MOS器件；
在所述MOS器件上形成互連層和層間介質(zhì)層；
在所述導(dǎo)光口上形成與互連層導(dǎo)電相連的MEMS透射光閥，所述MEMS透射光閥被所述層間介質(zhì)層包圍；
在所述層間介質(zhì)層上表面形成透明背板，以及
去除所述底層半導(dǎo)體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于MEMS透射光閥的顯示裝置的形成方法，其特征在于，形成導(dǎo)光口的步驟包括：用干法或濕法去除部分頂層半導(dǎo)體，形成導(dǎo)光口預(yù)留孔洞；
用透明介電質(zhì)填埋導(dǎo)光口預(yù)留孔洞，形成導(dǎo)光孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于MEM透射光閥的顯示裝置的形成方法，其特征在于，所述形成透明背板的方法包括鍵合透明背板和粘結(jié)透明背板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于MEMS透射光閥的顯示裝置的形成方法，其特征在于，所述透明背板面向MEMS透射光閥的一側(cè)具有導(dǎo)光板，所述導(dǎo)光板為垂直入光導(dǎo)光板。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于MEMS透射光閥的顯示裝置的形成方法，其特征在于，所述透明背板面向MEMS透射光閥的一面具有導(dǎo)光板，所述導(dǎo)光板為側(cè)向入光導(dǎo)光板。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于MEMS透射光閥的顯示裝置的形成方法，其特征在于，所述側(cè)向入光導(dǎo)光板為微型反射鏡，其與MEMS透射光閥垂直對(duì)準(zhǔn)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于MEMS透射光閥的顯示裝置的形成方法，其特征在于，所述多層復(fù)合半導(dǎo)體襯底為SOI襯底。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于MEMS透射光閥的顯示裝置的形成方法，其特征在于，所述形成MEMS透射光閥的步驟包括在所述導(dǎo)光口上形成犧牲層，在犧牲層中形成MEMS透射光閥；
在去除所述底層半導(dǎo)體的步驟之后還包括去除所述犧牲層。
9.一種基于MEM透射光閥的顯示裝置，其特征在于，包括：
底層半導(dǎo)體、中間埋層和頂層半導(dǎo)體形成的多層復(fù)合半導(dǎo)體襯底，在所述頂層半導(dǎo)體中具有導(dǎo)光口；
所述頂層半導(dǎo)體中至少包括一個(gè)MOS器件；
位于所述MOS器件上的互連層和透明層間介質(zhì)層；
位于所述導(dǎo)光口上的與互連層導(dǎo)電相連的MEMS透射光閥，所述MEMS透射光閥位于透明層間介質(zhì)層構(gòu)成的空腔內(nèi)；以及
位于所述空腔頂部的透明層間介質(zhì)層上表面的透明背板。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基于MEMS透射光閥的顯示裝置，其特征在于，所述透明背板面向MEMS透射光閥的一面具有導(dǎo)光板，所述導(dǎo)光板為垂直入光導(dǎo)光板。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基于MEMS透射光閥的顯示裝置，其特征在于，所述透明背板面向MEMS透射光閥的一面具有導(dǎo)光板，所述導(dǎo)光板為側(cè)向入光導(dǎo)光板。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基于MEMS透射光閥的顯示裝置，其特征在于，所述側(cè)向入光導(dǎo)光板為微型反射鏡，其與MEMS透射光閥垂直對(duì)準(zhǔn)。
13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基于MEMS透射光閥的顯示裝置，其特征在于，所述多層復(fù)合半導(dǎo)體襯底為SOI襯底。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于上海麗恒光微電子科技有限公司，未經(jīng)上海麗恒光微電子科技有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201310095739.0/1.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
