[發明專利]石墨烯的制備方法有效
| 申請號： | 201310095447.7 | 申請日： | 2013-03-25 |
| 公開（公告）號： | CN103172059A | 公開（公告）日： | 2013-06-26 |
| 發明（設計）人： | 張競存;鐘海艦;徐科 | 申請（專利權）人： | 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所 |
| 主分類號： | C01B31/04 | 分類號： | C01B31/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215123 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 石墨 制備 方法 | ||
1.一種石墨烯的制備方法，該方法包括：
S1、在第一類金屬催化劑層上制備碳薄膜；
S2、蒸發第二類金屬使其摻雜入所述第一類金屬催化劑層以形成合金，所述合金的熔點小于所述第一類金屬催化劑的熔點；
S3、蒸發合金獲得石墨烯層。
2.根據權利要求1所述的石墨烯的制備方法，其特征在于，步驟S1、S2所述的蒸發采用化學氣相沉積工藝，其工藝條件為：在惰性氣體和氫氣的混合氣氛中，并在700~1000?°C的高溫下進行保溫退火5~30分鐘。
3.根據權利要求2所述的石墨烯的制備方法，其特征在于，惰性氣體的流量范圍是1000~2000?slm；氫氣的流量范圍是100~500?slm。
4.根據權利要求1所述的石墨烯的制備方法，其特征在于，所述第一類金屬催化劑層為Ni。
5.根據權利要求1或4所述的石墨烯的制備方法，其特征在于，所述第二類金屬為Ga。
6.根據權利要求1所述的石墨烯的制備方法，其特征在于，所述第一類金屬催化劑層的厚度為100~500nm。
7.根據權利要求1或6所述的石墨烯的制備方法，其特征在于，制備第一類金屬催化劑層的方法包括電子束蒸發、磁控濺射和脈沖激光沉積的其中之一。
8.根據權利要求5所述的石墨烯的制備方法，其特征在于，所述碳薄膜的厚度為2~10nm。
9.根據權利要求1所述的石墨烯的制備方法，其特征在于，該方法還包括步驟：將石墨烯層在去離子水中超聲0.5~5分鐘，使石墨烯層與其下方的合金層分離。
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