[發(fā)明專利]半導(dǎo)體行業(yè)工廠節(jié)水用水系統(tǒng)無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310095394.9 | 申請日： | 2013-03-25 |
| 公開（公告）號： | CN103145268A | 公開（公告）日： | 2013-06-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 丁少華;孫葉鳳 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海華強環(huán)保設(shè)備工程有限公司 |
| 主分類號： | C02F9/04 | 分類號： | C02F9/04 |
| 代理公司： | 上海浦東良風(fēng)專利代理有限責(zé)任公司 31113 | 代理人： | 陳志良 |
| 地址： | 201210 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 半導(dǎo)體 行業(yè) 工廠 節(jié)水 水系 | ||
1.一種半導(dǎo)體行業(yè)工廠節(jié)水用水系統(tǒng)，其特征在于：所述的節(jié)水用水系統(tǒng)首先對原水采用離子交換劑作軟化處理，經(jīng)軟化后的水進入超純水UPW系統(tǒng)，大部分制成超純水供企業(yè)半導(dǎo)體生產(chǎn)用水；超純水UPW系統(tǒng)的排水進入第一收集槽后分為三路利用，一路供企業(yè)冷卻塔系統(tǒng)補水用，一路供企業(yè)生活區(qū)沖廁所用，還有一路供給預(yù)處理過濾器的反沖洗用，所述半導(dǎo)體生產(chǎn)用水經(jīng)使用后的排水進入第二收集槽進行膜過濾將固液分離，膜過濾后的水回收作為超純水UPW系統(tǒng)中的第二級反滲透器補給水。
2.根據(jù)權(quán)利要求?1?所述的半導(dǎo)體行業(yè)工廠節(jié)水用水系統(tǒng)，其特征在于：所述固液分離用的膜過濾器為管式或者平板式超濾膜過濾器，膜過濾后的排泥水再進行壓濾機處理，處理后的水進入第二收集槽，膜過濾后的清水返回超純水UPW系統(tǒng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求?1?所述的半導(dǎo)體行業(yè)工廠節(jié)水用水系統(tǒng)，其特征在于：所述對原水進行軟化處理的離子交換劑為強酸陽離子樹脂，經(jīng)軟化處理后的水作為制備超純水UPW系統(tǒng)的給水，使其進入超純水UPW系統(tǒng)后的排水?dāng)U展利用的渠道。
4.根據(jù)權(quán)利要求?1?所述的半導(dǎo)體行業(yè)工廠節(jié)水用水系統(tǒng)，其特征在于：所述企業(yè)冷卻塔系統(tǒng)補給用水經(jīng)過水質(zhì)穩(wěn)定劑處理后再供給冷卻塔，所述水質(zhì)穩(wěn)定劑的投加量為80-120mg/L。
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