[發(fā)明專利]晶片的輔助取片機(jī)構(gòu)、取片系統(tǒng)及取片方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310095195.8
• 申請日: 2013-03-22
• 公開（公告）號: CN104058257B
• 公開（公告）日: 2017-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李萌;張金斌
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
• 主分類號: B65G59/06
• 分類號: B65G59/06;B65G49/07
• 代理公司: 北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司11274
• 代理人: 申健

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體晶片加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種晶片的輔助取片機(jī)構(gòu)，以及設(shè)有該輔助取片機(jī)構(gòu)的取片系統(tǒng)及取片方法。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體晶片加工過程中自動化程度的提高，在自動化取放晶片的傳輸過程中越來越多的利用料盒來承載晶片。例如，太陽能電池片自動化生產(chǎn)過程中，從料盒中取出電池片是電池片的自動化傳輸過程的第一步，所以取片的效率和可靠性便成為實(shí)現(xiàn)自動化生產(chǎn)的重要條件之一。常見的料盒如圖1所示，料盒1內(nèi)部有用于承載電池片10的槽口11，槽口11的數(shù)量通常有25、50或100個(gè)，電池片10可從料盒1的前端插入槽口11中，此外，料盒1底部的前端和后端通常還設(shè)有U型缺口12。

圖2是目前常用的電池片傳輸?shù)淖詣踊瘋鬏斣O(shè)備及取片系統(tǒng)的示意圖，該傳輸系統(tǒng)包括上下兩層用于傳輸料盒的傳輸皮帶21、22、一個(gè)用于放臵料盒1的升降臺3和一個(gè)取片機(jī)構(gòu)4。其中，取片機(jī)構(gòu)4包括驅(qū)動器41、滑塊42和驅(qū)動輪43，如圖3a和圖3b所示，驅(qū)動器41能夠驅(qū)動滑塊42前后移動，并且滑塊42上設(shè)有傳送帶44。如圖4a和圖4b所示，裝滿電池片10的料盒1在上層傳輸皮帶21的驅(qū)動下被傳送到升降臺3上，然后取片機(jī)構(gòu)4的驅(qū)動器41驅(qū)動滑塊42向后移動至料盒1中最低位的電池片10的下方，再將升降臺3下降適當(dāng)高度，使傳送帶44在料盒1底部的U型缺口12處托住最低位的電池片10，此時(shí)驅(qū)動輪43對傳送帶44進(jìn)行驅(qū)動，即可由傳送帶44將最低位的電池片10取出料盒1。之后，升降臺3再下降一個(gè)槽口11間距（通常為4.76mm），取片機(jī)構(gòu)4就可以用相同的方法由傳送帶44將電池片10逐個(gè)取出料盒1。料盒1中的電池片10取盡之后，取片機(jī)構(gòu)4的滑塊42向前移動，升降臺3下降至與下層傳輸22皮帶相同的高度，然后把空料盒1從升降臺3傳送到下層傳輸皮帶22上，再上升至上層傳輸皮帶21的高度，并接收新的裝滿電池片10的料盒1，以便取片機(jī)構(gòu)4繼續(xù)取出電池片10。

本發(fā)明人在實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的過程中發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有技術(shù)至少存在以下問題：如圖4a所示，由于料盒1底部的前后端開有U型缺口12，但中間是連接起來的。由于該連接部分的存在，取片機(jī)構(gòu)4的傳送帶44只能托起電池片10前端不到一半的部分，電池片10由于自身重力，后端會下垂，同時(shí)前端翹起，如圖4b所示，使電池片10與傳送帶44的接觸面積很小，容易導(dǎo)致電池片10無法順利取出，因此影響了取片效率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例提供了一種晶片的輔助取片機(jī)構(gòu)，以及設(shè)有該輔助取片機(jī)構(gòu)的取片系統(tǒng)及取片方法，解決了現(xiàn)有技術(shù)容易導(dǎo)致電池片或其他晶片無法順利取出，影響取片效率的技術(shù)問題。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案：

本發(fā)明提供了一種晶片的輔助取片機(jī)構(gòu)，包括滑動板和驅(qū)動器，所述驅(qū)動器用于驅(qū)動所述滑動板前后移動，所述滑動板的前端設(shè)有滾軸；

當(dāng)晶片的主取片機(jī)構(gòu)（即背景技術(shù)中的取片機(jī)構(gòu)）托起晶片底部的前端，從裝有所述晶片的料盒前側(cè)取出所述晶片時(shí)，所述滑動板在所述驅(qū)動器的驅(qū)動下向前移動至所述料盒后側(cè)的下方，所述滾軸用于托住所述晶片底部的后端。

進(jìn)一步，當(dāng)所述料盒中的晶片取盡時(shí)，所述滑動板在所述驅(qū)動器的驅(qū)動下向后移出所述料盒的下方。

優(yōu)選的，該輔助取片機(jī)構(gòu)還包括支撐所述滑動板的支撐板，所述支撐板上設(shè)有導(dǎo)軌，所述滑動板可在所述驅(qū)動器的驅(qū)動下沿所述導(dǎo)軌前后移動。

優(yōu)選的，所述滾軸為表面包覆聚氨酯的軸承。

優(yōu)選的，所述驅(qū)動器為氣缸，所述氣缸中的頂桿通過浮動接頭與所述滑動板連接。

本發(fā)明還提供了一種晶片的取片系統(tǒng)，包括升降臺和主取片機(jī)構(gòu)，所述升降臺用于放臵裝有若干個(gè)晶片的料盒；

所述取片系統(tǒng)還包括上述的輔助取片機(jī)構(gòu)。

進(jìn)一步，所述主取片機(jī)構(gòu)包括主驅(qū)動器、滑塊和驅(qū)動輪，所述主驅(qū)動器用于驅(qū)動所述滑塊前后移動，所述滑塊上設(shè)有傳送帶，所述傳送帶通過所述驅(qū)動輪進(jìn)行驅(qū)動。

本發(fā)明還提供了一種基于上述取片系統(tǒng)的取片方法，包括：

步驟一、所述主取片機(jī)構(gòu)的主驅(qū)動器驅(qū)動所述滑塊向后移動至所述料盒中最低位的晶片前端的下方，同時(shí)，所述輔助取片機(jī)構(gòu)的驅(qū)動器驅(qū)動所述滑動板向前移動至所述料盒中最低位的晶片后端的下方；

步驟二、所述升降臺帶動所述料盒下降一定高度，使所述主取片機(jī)構(gòu)的傳送帶托住所述最低位的晶片底部的前端，同時(shí)所述輔助取片機(jī)構(gòu)的滾軸托住所述最低位的晶片底部的后端；

步驟三、所述主取片機(jī)構(gòu)的驅(qū)動輪驅(qū)動所述傳送帶將所述最低位的晶片從所述料盒中取出；