[發明專利]一種倒裝鍵合設備中用于各向異性導電膠的熱壓裝置

有效

• 申請號: 201310095073.9
• 申請日: 2013-03-22
• 公開（公告）號: CN103280412A
• 公開（公告）日: 2013-09-04
• 發明（設計）人: 陶波;朱欽淼;程小明;潘衛進;薛天騁;湯朋朋;羅沖;馮夢丹;洪洋;胡越;周鵬;張陽
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: H01L21/603
• 分類號: H01L21/603
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 李佑宏

1.一種熱壓裝置，用于倒裝鍵合設備中對導電膠進行熱壓，其特征在于，該熱壓裝置包括：

壓頭組件（2），用于對導向膠進行熱壓；

導向組件（1），其設置在一支撐基座（4）上，所述壓頭組件（2）設置在該導向組件（1）上，所述壓頭組件（2）通過該導向組件（1）進行導向移動以完成熱壓；

驅動組件（5），其設置在所述導向組件（1）一側，用于驅動所述導向組件（1）直線移動，以實現其對壓頭組件（2）的導向移動。

2.根據權利要求1所述的一種熱壓裝置，其中，所述的導向組件（1）包括用作支撐架的U型板（102）和可隨該U型板（102）移動的轉接板（103），所述壓頭組件（2）與所述轉接板（103）連接，所述驅動組件（5）通過驅動所述U型板（102）和轉接板（103）移動，進而實現驅動所述壓頭組件（2）移動。

3.根據權利要求2所述的一種熱壓裝置，其中，所述U型板（102）包括位于中間的背板和垂直設置在該背板兩端的擋板，其中該背板上固定設置有直線滑軌（105）和可相對該直線滑軌（105）滑動的滑塊（106），所述轉接板（103）與該滑塊（106）固定連接，所述轉接板（103）通過該滑塊（106）實現隨該U型板（102）移動。

4.根據權利要求3所述的一種熱壓裝置，其中，所述的導向組件（1）還具有光軸（104），其為對稱布置的且與所述直線滑軌（105）軸線平行的兩根，各光軸（104）的一端均固定在上述U型板（102）的其中一個擋板上，另一端穿過所述轉接板（103）上的孔后伸出，所述轉接板（103）可相對所述光軸（104）軸向移動，用于在轉接板（103）帶動壓頭組件（2）移動時對其導向。

5.根據權利要求4所述的一種熱壓裝置，其中，所述的兩光軸（104）上分別套接有彈簧，彈簧一端抵接在轉接板（103）側面，另一端抵接在光軸（104）固定端的擋板上，用于壓頭組件（2）在熱壓時進行緩沖并推動所述轉接板（103）和滑塊（106）沿所述直線滑軌實現（105）反向移動。

6.根據權利要求5所述的一種熱壓裝置，其中，所述的導向組件（1）還具有一階梯軸（101），其直徑較小的一端穿過上述U型板（102）的另一個擋板后與所述轉接板（103）固定連接，用于對所述轉接板（103）的反向移動進行導向。

7.根據權利要求6所述的一種熱壓裝置，其中，所述的階梯軸（101）上也套接有彈簧，用于所述轉接板（103）的反向移動時進行緩沖，并可通過該彈簧實現對所述轉接板（103）的預緊。

8.根據權利要求1-7中任一項所述的一種熱壓裝置，其中，所述壓頭組件（2）包括連接板（202），固定設置在該連接板（202）下部的上連接塊（203），與所述上連接塊（203）通過隔熱板（207）隔熱連接的下連接塊（206），所述連接板（202）內容置有磁鐵（201），其用于與轉接板（103）下端磁性連接，所述下連接塊（206）下端設置有壓頭。

9.根據權利要求1-8中任一項所述的一種熱壓裝置，其中，所述驅動組件（5）優選為單軸機器人。