[發明專利]振動裝置

無效

• 申請號: 201310094964.2
• 申請日: 2013-03-22
• 公開（公告）號: CN103363967A
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發明（設計）人: 栗田秀昭
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01C19/56
• 分類號: G01C19/56
• 代理公司: 北京金信立方知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;蘇萌萌

1.一種振動裝置，其特征在于，

具備：

半導體元件；

第一電極及第二電極，其位于所述半導體元件的第一面上；

振動元件；

第三電極及第四電極，其位于所述振動元件的第一面上；

第一連接部，其連接所述第一電極和所述第三電極；

第二連接部，其連接所述第二電極和所述第四電極，

所述半導體元件的熱膨脹系數與所述振動元件的熱膨脹系數不同，

所述振動元件具有位于所述第三電極和所述第四電極之間的連結部，

所述連結部具有位于所述第三電極和所述第四電極之間的至少一個彎曲。

2.如權利要求1所述的振動裝置，其特征在于，具備：

第一突起電極，其位于所述第一電極和所述第三電極之間；

第二突起電極，其位于所述第二電極和所述第四電極之間。

3.如權利要求1或權利要求2所述的振動裝置，其特征在于，

所述振動元件具有：

振動部；

基部，其上連結有所述振動部；

支承部，其上連結有從所述基部延伸出的梁部，且所述第三電極位于所述支承部上；

固定部，其經由所述連結部而與所述支承部連結，且所述第四電極位于所述固定部上，

在連結所述支承部與所述固定部的所述連結部上具有至少一個所述彎曲。

4.如權利要求1至權利要求3中的任一項所述的振動裝置，其特征在于，

在所述振動元件上，相鄰地配置有所述第三電極和所述第四電極。

5.如權利要求1至權利要求4中的任一項所述的振動裝置，其特征在于，

所述連結部在俯視觀察所述振動元件的方向上具有所述彎曲。

6.如權利要求1至權利要求4中的任一項所述的振動裝置，其特征在于，

所述連結部在所述振動元件的厚度方向上具有所述彎曲。