[發明專利]金屬網格-石墨烯透明電極制作方法及其用于制作觸摸屏的方法

無效

• 申請號: 201310094605.7
• 申請日: 2013-03-22
• 公開（公告）號: CN103236320A
• 公開（公告）日: 2013-08-07
• 發明（設計）人: 史浩飛;劉海燕;李占成;張為國;湯林龍;周秀麗;杜春雷
• 申請（專利權）人: 重慶綠色智能技術研究院
• 主分類號: H01B13/00
• 分類號: H01B13/00;G06F3/041;G06F17/50
• 代理公司: 北京同恒源知識產權代理有限公司 11275
• 代理人: 趙榮之

1.一種金屬網格-石墨烯透明電極制作方法，其特征在于，具體步驟如下：

1）確定金屬網格-石墨烯透明電極的導電性和透光性，根據導電性和透光性確定金屬網格和石墨烯的設計參數；

2）根據步驟1）確定的參數，在透明絕緣柔性基底上制作金屬網格結構；并利用CVD法生長出石墨烯；

3）將石墨烯轉移至步驟2）中處理好的附有金屬網格的透明絕緣柔性基底上。

2.如權利要求1所述的金屬網格-石墨烯透明電極制作方法，其特征在于，步驟1）中確定的金屬網格設計參數包括有金屬材料的種類、金屬線寬、周期、厚度和占空比，其中金屬網格周期為500nm～1000um，金屬線寬為50nm～40um，金屬厚度為100nm～10um，金屬占空比為<20%。

3.如權利要求2所述的金屬網格-石墨烯透明電極制作方法，其特征在于：金屬材料為Au、Ag、Cu、Al、Ni中的其中一種。

4.如權利要求1所述的金屬網格-石墨烯透明電腦制作方法，其特征在于，步驟1）中確定的石墨烯設計參數包括有：石墨烯為摻雜異物的石墨烯或純凈的石墨烯，石墨烯的層數；石墨烯的層數為一層以上，十層以下。

5.如權利要求1所述的金屬網格-石墨烯透明電極制作方法，其特征在于，步驟2）中所述透明絕緣柔性基底的材料為聚對苯二甲酸乙二醇酯PET、聚碳酸酯PC、聚氯乙烯PVC、石英或聚乙烯PE，并滿足方塊電阻為5Ω/sq～1000Ω/sq，透光率達為80%～97%，彎曲半徑<5mm時對方塊電阻沒有影響。

6.如權利要求1所述的金屬網格-石墨烯透明電極制作方法，其特征在于，步驟2）所述金屬網格結構的制作方法為：采用磁控濺射法或空鍍膜法或電鍍法在基底上成膜，利用光刻及刻蝕技術制作金屬網格圖形，曝光時間為1s～600s，顯影時間為10s～600s。

7.如權利要求1所述的金屬網格-石墨烯透明電極制作方法，其特征在于：CVD生長石墨烯的基底材料為銅或鎳或釕，生長溫度為100～1100℃，碳源為氣態碳源或液態碳源或固態碳源，生長時間為1～600min。

8.如權利要求7所述的金屬網格-石墨烯透明電極制作方法，其特征在于：所述氣態碳源為甲烷、乙烯或乙炔，液態碳源為苯，固態碳源為聚苯乙烯、PMMA。

9.如權利要求1所述的金屬網格-石墨烯透明電極制作方法，其特征在于：步驟3）中利用卷對卷的方法將石墨烯轉移至附有金屬網格的透明絕緣柔性基底上。

10.權利要求1至9任意一項所述透明電極用于制作觸摸屏的方法，其特征在于，制作方法為：采用絲網印刷術在金屬網格-石墨烯材料的基底上制作觸摸屏IC電路及間隔點，并將其封裝入需要觸摸屏的器件內。