[發明專利]超精密氣囊拋光技術中工件邊緣去除函數的測量方法有效
| 申請號： | 201310092733.8 | 申請日： | 2013-03-21 |
| 公開（公告）號： | CN103213068A | 公開（公告）日： | 2013-07-24 |
| 發明（設計）人： | 李洪玉;汪洪源;張偉 | 申請（專利權）人： | 哈爾濱工業大學 |
| 主分類號： | B24B49/16 | 分類號： | B24B49/16 |
| 代理公司： | 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109 | 代理人： | 金永煥 |
| 地址： | 150001 黑龍*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 精密 氣囊 拋光 技術 工件 邊緣 去除 函數 測量方法 | ||
【權利要求書】：
1.超精密氣囊拋光技術中工件邊緣去除函數的測量方法，其特征在于超精密氣囊拋光技術中工件邊緣去除函數的測量方法按以下步驟實現：
一、對工件進行加工與測量
(1)在工件邊緣定點拋光，生成工件邊緣去除函數；
(2)利用干涉儀對工件邊緣去除函數進行測量，得到三維測量數據；
(3)利用輪廓儀對工件邊緣去除函數進行橫向掃描測量，得到工件邊界上的材料去除深度，即二維測量數據；
二、二維與三維測量數據的縫接
(1)通過對步驟一(3)中工件邊界上的材料去除深度進行差值運算，得到工件邊界上的材料去除深度分布曲線；
(2)通過對步驟一(2)中的三維測量數據與步驟二中(1)中工件邊界上的材料去除分布曲線的數據進行差值運算，實現工件邊緣去除函數丟失數據的恢復，獲得完整的工件邊緣的材料去除函數，即完成了超精密氣囊拋光技術中工件邊緣去除函數的測量方法。
2.根據權利要求1所述的超精密氣囊拋光技術中工件邊緣去除函數的測量方法，其特征在于步驟一(2)中所述干涉儀為Zygo、Wygo或4D激光干涉儀。
3.根據權利要求1所述的超精密氣囊拋光技術中工件邊緣去除函數的測量方法，其特征在于步驟一(3)中所述輪廓儀為Form?Talysurf通用輪廓儀。
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