[發明專利]一種三維微納米結構的組裝方法

有效

• 申請號: 201310089315.3
• 申請日: 2013-03-20
• 公開（公告）號: CN103193196A
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 吳文剛;王志強;李燦;毛逸飛;趙路睿
• 申請（專利權）人: 北京大學
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00;B82Y40/00
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 徐寧;關暢

1.一種三維微納米結構的組裝方法，包括如下步驟：

1）采用常規微機電系統工藝方法、納機電系統工藝方法和聚焦離子束與微機電系統/納機電系統結合中的一種工藝方法中制作一端是自由端，另一端是固定端的懸臂梁結構；

2）從懸臂梁的自由端到固定端以均勻間距為標準，依次在懸臂梁上通過離子刻蝕的方式設置刻蝕區域；

3）確定控制聚焦離子束的注入劑量，確定與結構彎曲的角度現有的聚焦離子束掃描傾斜的角度，確定與懸臂梁上設置刻蝕區域現有的聚焦離子束掃描的間距；

4）從懸臂梁的自由端第一個刻蝕區域開始依次用聚焦離子束對各刻蝕區域進行刻蝕，使整個懸臂梁形成向下卷曲的螺旋、折疊、正弦形、發條等結構。

2.如權利要求1所述的一種三維微納米結構的組裝方法，其特征在于：所述懸臂梁材料為多種單晶、多晶、無定形和金屬材料中的一種。

3.如權利要求2或所述的一種三維微納米結構的組裝方法，其特征在于：所述懸臂梁材料為鋁。

4.如權利要求1或2或3所述的一種三維微納米結構的組裝方法，其特征在于：所述懸臂梁的厚度為80-200納米。

5.如權利要求4所述的一種三維微納米結構的組裝方法，其特征在于：所述懸臂梁的厚度為100納米。

6.如權利要求1或2或3或5所述的一種三維微納米結構的組裝方法，其特征在于：所述離子束能量為15keV-30keV。

7.如權利要求4所述的一種三維微納米結構的組裝方法，其特征在于：所述離子束能量為15keV-30keV。

8.如權利要求6所述的一種三維微納米結構的組裝方法，其特征在于：所述離子束能量為30keV。

9.如權利要求7所述的一種三維微納米結構的組裝方法，其特征在于：所述離子束能量為30keV。