[發明專利]接觸式測頭及一種表面高反薄板材厚度測量方法

無效

• 申請號: 201310088985.3
• 申請日: 2013-03-19
• 公開（公告）號: CN104061866A
• 公開（公告）日: 2014-09-24
• 發明（設計）人: 崔華
• 申請（專利權）人: 昆山允可精密工業技術有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 北京市振邦律師事務所 11389
• 代理人: 李朝輝

1.接觸式測頭，其特征在于，包括測頭安裝座、探針、方形空氣導軌、激光位移傳感器和光柵尺，所述測頭安裝座上固定有測頭安裝底板，所述測頭安裝底板上固定有方形空氣導軌，所述方形空氣導軌上端固定有空氣導軌進氣座，所述空氣導軌進氣座上設有空氣導軌導芯供氣接頭，所述方形空氣導軌包括導芯和套在所述導芯上的方形導軌導向座，所述導芯頂端設有進氣口，底端固定有所述探針，所述方形導軌導向座的一個外側面開有方形導軌進氣口，所述方形導軌導向座內設有導氣槽，四個內側面上開有導向面開口，所述導氣槽內的壓縮空氣進入導向面開口并在所述方形導軌導向座和導芯之間形成氣膜層，所述探針上套有精密彈簧，所述探針的底端固定有接觸工件表面的紅寶石球，所述光柵尺固定于所述導芯的頂端，通過與所述光柵尺平行安裝的所述激光位移傳感器來測定所述探針隨工件表面形貌變化而導致導芯上下垂直運動的位移量。

2.如權利要求1所述的接觸式測頭，其特征在于，所述測頭安裝底板的頂端固定有與所述激光位移傳感器連接的傳感器數據傳輸線纜。

3.如權利要求1所述的接觸式測頭，其特征在于，所述測頭安裝底板包括上端的頂板和底端的底板。

4.如權利要求1所述的接觸式測頭，其特征在于，所述激光位移傳感器通過傳感器安裝板固定在所述測頭安裝底板上。

5.一種表面高反薄板材厚度測量方法，其特征在于，采用兩個上下相對設置的如權利要求1至4項任一項所述的接觸式測頭，包括以下步驟：

A10、測量前，通過進氣接頭分別給兩個測頭放入方形導軌導向座和導芯供氣，使得導芯在方形導軌導向座中處于懸浮狀態，能無摩擦地僅做垂直上下運動；

A20、當兩個測頭的探針下端的紅寶石球接觸到工件的上下表面時，則被測工件會瞬間有一個推動探針的作用力，隨后探針在接觸過程中處于垂直方向的力學平衡狀態中，并始終保證探針端部的紅寶石球與工件表面保持接觸；

A30、工件和上下兩個探針相對移動時，根據側頭上光柵尺的位移能夠測得工件的厚度變化。