[發(fā)明專利]顯微鏡物鏡

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310088645.0
• 申請(qǐng)日: 2009-04-08
• 公開（公告）號(hào): CN103235405A
• 公開（公告）日: 2013-08-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 渡士妙子;宮川晶子
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社尼康
• 主分類號(hào): G02B21/02
• 分類號(hào): G02B21/02;G02B27/42;G02B27/00
• 代理公司: 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 謝麗娜;關(guān)兆輝

1.一種顯微鏡物鏡，其特征在于，

從物體側(cè)依次包括：具有正屈光力的第1透鏡組；具有正屈光力的第2透鏡組；和具有負(fù)屈光力的第3透鏡組，

上述第1透鏡組包括：正透鏡成分，位于最靠向物體側(cè)，包含具有負(fù)屈光力的透鏡面；和至少一個(gè)以上的通過(guò)合成而具有正屈光力的復(fù)合透鏡成分，

上述第2透鏡組包括：具有衍射光學(xué)面的衍射光學(xué)元件，將由不同的光學(xué)材料構(gòu)成的兩個(gè)衍射元件要素接合，并在其接合面上形成有衍射柵格槽；和至少一個(gè)以上的復(fù)合透鏡成分，

上述第3透鏡組包括至少一個(gè)以上的通過(guò)合成而具有負(fù)屈光力的色校正透鏡成分，且該第3透鏡組的最靠向像側(cè)的透鏡面被配置成凹面朝向像側(cè)，

在設(shè)上述第1透鏡組中設(shè)置的上述正透鏡成分的上述具有負(fù)屈光力的面的曲率半徑為r、該具有負(fù)屈光力的面的物體側(cè)的介質(zhì)相對(duì)于d線的折射率為n1、像側(cè)的介質(zhì)相對(duì)于d線的折射率為n2、從上述具有負(fù)屈光力的面的頂點(diǎn)到物體為止在光軸上的距離為d0時(shí)，滿足下式的條件

｜(n2-n1)/(r·d0)｜＜0.01，

在設(shè)全系的焦距為f、與在上述衍射光學(xué)面經(jīng)過(guò)的最大視角對(duì)應(yīng)的光束的主光線到光軸的高度為h時(shí)，滿足下式的條件

0.05＜｜h/f｜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡物鏡，其中，

在設(shè)全系的焦距為f、上述第1透鏡組和上述第2透鏡組的合成焦距為f12時(shí)，滿足下式的條件

1.5≤｜f12/f｜≤4，

在設(shè)全系的焦距為f、上述第3透鏡組的焦距為f3時(shí)，滿足下式的條件

1≤｜f3/f｜≤3.5。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的顯微鏡物鏡，其中，

在設(shè)全系的焦距為f、上述第2透鏡組的焦距為f2時(shí)，滿足下式的條件

5≤｜f2/f｜。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡物鏡，其中，

在設(shè)上述衍射光學(xué)元件中的上述衍射光學(xué)面的衍射柵格槽的數(shù)量為N、該衍射光學(xué)面的有效半徑為H時(shí)，滿足下式的條件

2≤N/H≤10。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微鏡物鏡，其中，

在設(shè)上述衍射光學(xué)元件中的上述兩個(gè)衍射元件要素中折射率低且阿貝數(shù)小的上述衍射元件要素的材料相對(duì)于d線的折射率為nd1、相對(duì)于F線的折射率為nF1、相對(duì)于C線的折射率為nC1、上述衍射光學(xué)元件中的上述兩個(gè)衍射元件要素中折射率高且阿貝數(shù)大的上述衍射元件要素的材料相對(duì)于d線的折射率為nd2、相對(duì)于F線的折射率為nF2、相對(duì)于C線的折射率為nC2時(shí)，滿足下式的條件

nd1≤1.54

0.0145≤nF1-nC1

1.55≤nd2

nF2-nC2≤0.013。