[發明專利]構造物形成裝置、構造物制造方法和構造物

有效

• 申請號: 201310088555.1
• 申請日: 2013-03-19
• 公開（公告）號: CN103358551B
• 公開（公告）日: 2017-09-08
• 發明（設計）人: 安河內裕之
• 申請（專利權）人: 索尼公司
• 主分類號: B29C59/04
• 分類號: B29C59/04
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司11240
• 代理人: 余剛,吳孟秋

技術領域

本發明涉及形成片狀構造物的構造物形成裝置、構造物制造方法、以及由構造物形成裝置和構造物制造方法制造的構造物。

背景技術

日本專利申請公開第2011-102039號中公開的輥式壓印裝置是通過利用所謂的納米壓印技術形成樹脂片的裝置。該裝置設置有用于在樹脂片上轉印圖案的轉印輥。在轉印輥的外圓周表面，形成納米級大小的轉印圖案。作為樹脂片，使用提供在基膜上的UV固化樹脂。當樹脂片經過轉印輥的表面時，用UV光線照射樹脂片，結果是轉印輥的圖案形成在樹脂片上（參見，例如，日本專利申請公開第2011-102039號中的段落0085）。

發明內容

在日本專利申請公開第2011-102039號中公開的裝置中，轉印圖案的整個表面的形狀由具有曲率的轉印輥轉印，并且從轉印輥移除樹脂片，即，隨著轉印輥的旋轉執行釋放。因此，要轉印的圖案的縱橫比越高，釋放就變得越困難，這可能損壞圖案。

鑒于以上所述的情況，理想的是，提供一種能夠形成構造物并且無論構造物的圖案形狀如何都不會損壞圖案的構造物形成裝置和構造物制造方法，并且提供由此制造的構造物。

根據本發明的實施方式，提供了一種構造物形成裝置，包括旋轉體、保持構件和照射單元。

進行了圖案化的掩模能夠被設置在旋轉體上。

照射單元能夠利用能量線照射沿著旋轉體的旋轉軸方向的區域，其中掩模介于照射單元和照射區域之間。

保持構件設置為與旋轉體相對，從而形成保持利用能量線固化的材料的保持區域。

在本發明中，通過不利用三維鑄模而利用二維掩模，利用能量線照射所固化的材料將容易從旋轉的旋轉體剝去。即，可以防止通過固化材料形成的圖案受到損壞，這與使用三維鑄模的情況不同。

旋轉體具有彎曲的外圓周表面，從而在保持構件和外圓周表面之間形成保持區域。通過該構造物，可以形成高分辨率的微細構造物。

照射單元可以包括發射作為能量線的光的光源。

照射單元可以進一步包括具有狹縫的狹縫構件，其通過使從光源發射的光穿過狹縫可以在保持區域上形成線性照射區域。通過該構造物，即使通過利用發射非相干光的光源也可以形成線性光照射區域。

光源可以是發射激光的光源，并且照射單元可以進一步包括線性地擴散發射的激光的光學系統。即使當如上所述使用激光源時，也可以利用激光照射線性照射區域。

旋轉體可以是具有中空部的筒狀體，其中光源設置在中空部中。光源設置在中空部中，中空部是作為旋轉體的圓柱體的內部，所以可以實現構造物形成裝置的小型化。

旋轉體可以具有設置有掩模的外圓周表面。利用該結構，減小掩模和保持構件之間的距離，所以可以增加圖案轉印的分辨率。

在保持構件的表面上，至少形成保持區域的區域可以是平坦表面或彎曲表面。

構造物形成裝置可以進一步包括行進機構，其被構造為使保持通過固化材料形成的構造物的膜狀的基材行進。在該情況下，保持構件將張力施加于基材。因此，可以在基材上形成構造物。

構造物形成裝置可以進一步包括卷繞筒，其被構造為卷起通過固化材料形成的構造物。因此，可以通過卷繞筒卷起該構造物。

根據旋轉體和保持構件之間的距離，可以確定要形成的構造物的厚度。因此，通過調節該距離可以設置構造物的厚度。

根據本發明的另一個實施方式，提供了一種構造物制造方法，該方法包括將通過能量線的能量固化的材料保持在旋轉體和要設置為與旋轉體相對的保持構件之間，其中進行了圖案化的掩模能夠設置在旋轉體上。

利用能量線通過掩模照射所保持的材料的沿著旋轉體的旋轉軸方向的區域。

根據本發明的另一個實施方式，提供了一種通過以上所述的方法制造的構造物。

如上所述，根據本發明，可以形成該構造物，并且無論構造物的圖案形狀如何都不會損壞圖案。

根據以下如附圖所示的本發明的最佳實施方式的詳細說明，本發明的這些和其他目的、特征和優點將更為顯而易見。

附圖說明

圖1是示意性地示出了根據本發明的第一實施方式的構造物形成裝置的透視圖；

圖2是示出了圖1中所示的構造物形成裝置的側視圖；

圖3是示出了伸展的掩模的實例的平面圖；

圖4是示出了圖3中所示的掩模上形成的構造物的實例的平面圖；

圖5是用于說明旋轉鼓的外圓周表面和照射區域的平面之間的位移量的示圖；

圖6是示出了作為參考例的在表面上具有在壓印技術中使用的三維鑄模的輥的透視圖；