[發(fā)明專利]一種發(fā)光二極管電極結(jié)構(gòu)及其制造方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310088391.2
• 申請(qǐng)日: 2013-03-20
• 公開（公告）號(hào): CN104064649A
• 公開（公告）日: 2014-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 廖豐標(biāo)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇揚(yáng)景光電有限公司
• 主分類號(hào): H01L33/36
• 分類號(hào): H01L33/36;H01L33/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種發(fā)光二極管電極結(jié)構(gòu)，包括發(fā)光組件（2），所述發(fā)光組件（2）下方設(shè)有n電極層（1），其特征在于：所述發(fā)光組件（2）上方設(shè)有p電極層（3），所述p電極層（3）上方設(shè)有p焊盤（5），所述p電極層（3）與p焊盤（5）之間設(shè)有阻障層（4）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種發(fā)光二極管電極結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述阻障層（4）的厚度為0.1～1μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種發(fā)光二極管電極結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述阻障層（4）的材料為鈦、鎢、鉭、鉬上述材料的合金，或上述材料的硅化合物、氮化合物或硅氮化合物。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管電極結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述p電極層（3）為金鋅合金、金鈹合金或鈦鉑合金。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管電極結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述p焊盤（5）為鈦和鋁的合金、鈦和金的合金或鈦、鋁和金的合金，所述p焊盤（5）的總厚度為0.5~3.0μm。

6.制造如權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管電極結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于：包括如下步驟：

（1）在半導(dǎo)體迭層的窗口層上沉積p電極層材料；

（2）在p電極層上沉積阻障層材料；

（3）在阻障層上沉積p焊盤材料；

（4）微影：在透光襯底的一個(gè)表面涂布感光材料；在該表面的上方放置光罩，該光罩上設(shè)有與所述圖案相同的圖案；曝光：使平行光經(jīng)過光罩對(duì)感光材料進(jìn)行選擇性的曝光，使光罩的圖案完整的轉(zhuǎn)移至透光襯底的表面上；顯影，使感光材料獲得與光罩圖案相同或互補(bǔ)的圖案；

（5）干式蝕刻：對(duì)所述感光材料進(jìn)行干式蝕刻，使得所述P電極結(jié)構(gòu)產(chǎn)生一個(gè)與光罩圖案相同或互補(bǔ)的圖案；

（6）進(jìn)行退火工序以得到奧姆接觸：退火的工序在300-550℃的爐管中10秒至3分鐘或快速熱退火爐1秒至1分鐘中執(zhí)行。