[發明專利]光柵表面缺陷檢測裝置

有效

• 申請號: 201310087706.1
• 申請日: 2013-03-19
• 公開（公告）號: CN103175847A
• 公開（公告）日: 2013-06-26
• 發明（設計）人: 王義文;馮超;廖益龍;權超健;朱鵬;林長友;梅恒;劉勇剛
• 申請（專利權）人: 哈爾濱理工大學
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 哈爾濱東方專利事務所 23118
• 代理人: 陳曉光

1.一種光柵表面缺陷檢測裝置，其組成包括：立柱，控制模塊，其特征是：所述的立柱連接短臂，所述的短臂兩側分別連接有一對粗微調節器，所述的短臂連接長臂，所述的長臂通過通孔連接光柵表面圖像采集器，工控機輸出端連接控制系統輸入端，所述的控制系統的信號輸出端連接驅動電機和光源，驅動電機連接光柵篩選機構、光柵圖像二維平移臺和光柵清洗機構的輸入端，所述的光源置于光柵圖像檢測臺上。

2.根據權利要求1?所述的光柵表面缺陷檢測裝置，其特征是：光柵表面圖像采集器包括：顯微鏡頭、CCD攝像機、圖像采集卡、所述的投射光源及光源控制器，所述的顯微鏡頭穿過所述的長臂的通孔連接CCD工業攝像機，所述的CCD工業攝像機通過螺栓固定在長臂上，所述的CCD工業攝像機的輸出端連接光柵表面圖像采集卡的輸入端、所述的圖像采集卡的輸出端連接工控機輸入端。

3.根據權利1或2所述的光柵表面缺陷檢測裝置，其特征是：所述的控制模塊具有二維平移臺步進電機控制模塊、光柵展開機構、步進電機控制模塊、清洗機構控制模塊和光柵篩選機構控制模塊，所述的光柵展開機構具有光柵夾緊機構、機械連接機構和所述的驅動電機，所述的光柵夾緊機構連接驅動電機和機械連接機構，所述的機械連接機構連接二維平移臺，所述的二維平移臺連接光柵缺陷檢測臺，所述的光柵缺陷檢測臺連接立柱，所述的工控機具有數據處理模塊。

4.根據權利3所述的光柵表面缺陷檢測裝置，其特征是：所述的光柵圖像二維平移臺包括：由步進電機驅動控制的X、Y二維移動位移臺，使待檢光柵在水平面內沿X、Y移動，準確對準顯微物鏡，以待光柵表面缺陷圖像采集；所述的光柵展開機構包括：光柵夾緊裝置和光柵表面展開機構的機械裝置，實現光柵的夾緊和光柵表面信息的展開。

5.根據權利3所述的光柵表面缺陷檢測裝置，其特征是：所述的光柵篩選機構經過數據處理模塊將處理結果傳輸至控制模塊，再有控制模塊發出指令，控制光柵篩選機構對“合格光柵”和“不合格光柵”進行分類存儲；所述的控制模塊包括：光源控制模塊、二維平移臺步進電機控制模塊、光柵展開機構步進電機控制模塊、清洗機構控制模塊和光柵篩選機構控制模塊，實現光源控制、待檢光柵位置的對準、待檢光柵表面信息的展開、光柵表面的清洗和“合格”與“不合格”光柵的篩選。

6.根據權利3所述的光柵表面缺陷檢測裝置，其特征是：所述的光柵圖像檢測臺包括：支撐底盤和可調立柱，所述的可調立柱支撐和固定其他檢測部件，調節CCD攝像機與檢測平臺的垂直距離；所述的數據處理模塊對采集到的光柵表面缺陷圖像進行相關圖像處理，得到一幅清晰的圖像，然后利用相關軟件進行檢測，最后得到檢測結果。