[發明專利]基于力平衡閉環控制的硅微機械陀螺性能提升方法及裝置有效
| 申請號： | 201310087539.0 | 申請日： | 2013-03-19 |
| 公開（公告）號： | CN103162680A | 公開（公告）日： | 2013-06-19 |
| 發明（設計）人： | 肖定邦;吳學忠;胡小平;陳志華;蘇劍彬;侯占強;劉學;張旭 | 申請（專利權）人： | 中國人民解放軍國防科學技術大學 |
| 主分類號： | G01C19/5776 | 分類號： | G01C19/5776 |
| 代理公司： | 湖南兆弘專利事務所 43008 | 代理人： | 趙洪;譚武藝 |
| 地址： | 410073 湖南省長沙市硯瓦池正*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 平衡 閉環控制 微機 陀螺 性能 提升 方法 裝置 | ||
【說明書】：
技術領域
本發明涉及硅微機械陀螺領域，具體涉及一種基于力平衡閉環控制的硅微機械陀螺性能提升方法及裝置。
背景技術
硅微機械陀螺一般由支撐梁和質量塊組成，多采用靜電驅動、電容檢測的形式。硅微機械陀螺包括兩個模態：驅動模態和檢測模態。質量塊在驅動靜電力的作用下沿驅動軸方向(x軸)做簡諧振動，稱為驅動模態；當沿著角速度輸入方向(z軸)存在角速度信號時，由哥氏力效應產生的哥氏力使得檢測質量塊在檢測軸方向(y軸)產生振動，稱為檢測模態。檢測模態檢測電容變化量與輸入角速度成正比，通過C-V轉化后即可通過測量該電壓信號從而獲得輸入角速度的信息。考慮驅動和檢測模態采用同一質量塊，硅微機械陀螺的系統動力學方程為：
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