[發明專利]錠料的切割裝置

有效

• 申請號: 201310086554.3
• 申請日: 2013-03-19
• 公開（公告）號: CN103317607A
• 公開（公告）日: 2013-09-25
• 發明（設計）人: 吉田英博;山室景成
• 申請（專利權）人: 松下電器產業株式會社
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 劉曉迪

技術領域

本發明涉及一種用于以金屬線切割半導體材料等錠料的切割裝置。

背景技術

用于以金屬線切割錠料的切割裝置也被稱為鋼絲鋸，是一種將錠料推到（送料到）卷繞在一對主輥上的金屬線來進行切割的裝置。所得到的切割物例如被用作晶圓(wafer)等。通常，在一對主輥上卷繞有多圈金屬線，因此在一次錠料的送料中得到多片切割物（參照專利文獻1、2）。

進而，鋼絲鋸具有第一金屬線抽出機構和第二金屬線抽出機構。金屬線抽出機構與卷繞在一對主輥上的金屬線連結，在控制金屬線的張力的同時，對金屬線進行抽出或卷繞。金屬線抽出機構通常包含卷繞有金屬線的卷線筒(spool)（也稱為“繞線管(bobbin)”）、調整金屬線的張力的儲線器、以及測量金屬線的張力的轉矩傳感器。

若金屬線抽出機構不能適當地控制金屬線的張力，則無法得到期望的切割物，或者金屬線發生斷線。因此，提出了如下的方案：使卷線筒的位置可變，調整金屬線抽出機構對金屬線的抽出長度或卷繞長度，從而適當地控制金屬線的張力（參照專利文獻3）。

專利文獻1：日本特開2007－160431號公報

專利文獻2：日本特開平9－109013號公報

專利文獻3：日本實用新型登錄第3167705號公報

發明內容

本發明提供一種裝置結構，其在被稱為鋼絲鋸的切割裝置中，實現裝置小型化且能夠更精密地控制金屬線的張力。即，使將主輥的金屬線抽出或卷繞的一對金屬線抽出機構（第一金屬線抽出機構和第二金屬線抽出機構）盡量相互對稱地配置，從而降低使金屬線往復運動時的金屬線的張力的不均。進而，將一對金屬線輸送機構分別配置在包含主輥的旋轉軸的平面的上下，從而使裝置小型化。由此，其目的在于，不僅抑制金屬線的斷線，還能正確進行錠料的切割。

即，本發明涉及以下所示的錠料的切割裝置。

[1]錠料的切割裝置，包括：

卷繞有金屬線的一對主輥；以及

使所述金屬線往復運動的第一抽出/卷繞機構和第二抽出/卷繞機構，

所述第一抽出/卷繞機構包括：

第一卷線筒，其能夠進行卷繞在所述主輥上的金屬線的抽出和卷繞；

第一儲線器，其配置在所述第一卷線筒和所述主輥之間，并調整所述金屬線的張力；以及

第一轉矩傳感器，其測量所述金屬線的張力，

所述第二抽出/卷繞機構包括：

第二卷線筒，其能夠進行卷繞在所述主輥上的金屬線的抽出和卷繞；

第二儲線器，其配置在所述第二卷線筒和所述主輥之間，并調整所述金屬線的張力；以及

第二轉矩傳感器，其測量所述金屬線的張力，所述第一儲線器和所述第一轉矩傳感器的配置、與所述第二儲線器和所述第二轉矩傳感器的配置相互為線對稱，

在包含所述一對主輥的旋轉軸的平面的一個面上配置有所述第一抽出/卷繞機構，并且在所述平面的另一個面上配置有所述第二抽出/卷繞機構，

所述第一抽出/卷繞機構與所述一對主輥通過懸掛在第一滑輪的金屬線連接，該第一滑輪配置在所述平面的一個面上，

所述第二抽出/卷繞機構與所述一對主輥通過懸掛在第二滑輪的金屬線連接，該第二滑輪配置在所述平面的另一個面上。

[2]如[1]所述的錠料的切割裝置，其中，

所述第一抽出/卷繞機構包括第一拉線器，該第一拉線器配置在所述第一卷線筒和所述第一儲線器之間，將所述第一卷線筒的金屬線引導到所述第一儲線器，

所述第二抽出/卷繞機構包括第二拉線器，該第二拉線器配置在所述第二卷線筒和所述第二儲線器之間，將所述第二卷線筒的金屬線引導到所述第二儲線器。

[3]如[2]所述的錠料的切割裝置，其中，

所述第一拉線器的位置固定，所述第一卷線筒能夠移動以使所述第一卷線筒與所述第一拉線器之間的金屬線長度保持不變，

所述第二拉線器的位置固定，所述第二卷線筒能夠移動以使所述第二卷線筒與所述第二拉線器之間的金屬線長度保持不變。

根據本發明的切割裝置，容易調整在切割錠料過程中的金屬線的張力，因此容易得到錠料的期望的切割物，并且能夠抑制金屬線的斷線等。

附圖說明

圖1是用于示意性地說明切割裝置的結構的圖。

圖2是表示切割裝置的第一抽出/卷繞機構和第二抽出/卷繞機構的配置關系的圖。

圖3是表示切割裝置的卷線筒、拉線器以及儲線器的結構的圖。

圖4是表示連接切割裝置的抽出/卷繞機構與一對主輥的金屬線的狀態的圖。