[發明專利]點衍射干涉儀小孔板的支撐結構

無效

• 申請號: 201310085979.2
• 申請日: 2013-03-18
• 公開（公告）號: CN103217225A
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發明（設計）人: 馬冬梅;邵晶;張海濤;聶真威;周烽;盧增雄
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01J9/02
• 分類號: G01J9/02
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 張偉

技術領域

本發明屬于微應力支撐領域，具體涉及一種點衍射干涉儀小孔板的支撐結構。

背景技術

點衍射干涉儀利用小孔衍射光束作為測試的基準波前，這種干涉儀是一種高精度的光學波前測量設備。一般情況下，小孔的制備是在鍍有薄膜的薄玻璃基板上對薄膜進行刻蝕完成的。由于小孔的形貌和小孔的面形精度會對衍射波前的質量產生影響，因此需要減少支撐結構中應力對小孔板的影響，保證小孔板的平整。采用常規的機械裝配手段或者直接進行粘膠的方法，會由于機械受力不均或粘結劑收縮導致小孔板產生形變。因此需要研究一種應力小，能夠使小孔板均勻受力的支撐結構，來保證小孔板的面形精度。

發明內容

為了解決現有技術中存在的問題，本發明提供了一種點衍射干涉儀小孔板的支撐結構，該結構具有應力小的特點，使小孔板均勻受力，從而減少小孔板的應力變形。

本發明解決技術問題所采用的技術方案如下：

點衍射干涉儀小孔板的支撐結構，該結構包括支撐基板和小孔板，在支撐基板上有一個以支撐基板的圓心為圓心的圓形凹槽；小孔板的直徑與凹槽的內徑相同且小孔板的邊緣與凹槽的內徑邊緣緊密貼合；所述凹槽內均勻分布光學膠，支撐結構通過光學膠與小孔板連接。

本發明的有益效果是：本發明通過毛細現象由光學膠把小孔板和支撐基板緊密固定，使小孔板由圓心向四周發散的應力盡可能的減小，并降低小孔板的形變。

附圖說明

圖1本發明點衍射干涉儀小孔板的支撐結構的剖面示意圖。

圖2本發明點衍射干涉儀小孔板的支撐結構的整體三維圖。

圖3本發明點衍射干涉儀小孔板的支撐結構的剖面三維圖。

圖中：1、支撐基板，2、光學膠，3、薄膜，4、玻璃基板，5、小孔，6、小孔板，7、通孔和8、凹槽。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本發明做進一步詳細說明。

如圖1、圖2和圖3所示，點衍射干涉儀小孔板的支撐結構包括支撐基板1和小孔板6，支撐結構1具有一通孔7，通孔7的大小大于點衍射干涉儀的出光口徑，保證對小孔5的照明光束能夠完全通過。在支撐基板1上有一個以支撐基板1的圓心為圓心的圓形凹槽8；凹槽8的橫截面為V型，其開口最寬處小于2mm。

小孔板6由薄膜3和玻璃基板4構成，薄膜3附在玻璃基板4的上底面，在薄膜3的中心開孔。小孔板6的直徑與凹槽8的內徑長度相同且小孔板6的外邊緣與凹槽8內徑的外邊緣緊密貼合，安裝時二者應該嚴格的對齊。

凹槽8內應采用細管導入光學膠2，以保證涂抹的均勻性和防止氣泡進入，將整個裝置水平放置一段時間，光學膠2會因為毛細現象與小孔板6接觸，同時受重力影響光學膠2會均勻沿凹槽分布，與小孔板6均勻接觸，起到連接小孔板6和支撐基板1的作用，其中光學膠的楊氏模量小于等于2.3×10⁴lb/in²，如環氧樹脂光學膠。