[發(fā)明專利]非遠(yuǎn)心電壓成像光學(xué)系統(tǒng)(NTVIOS)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310084659.5 | 申請日： | 2013-03-15 |
| 公開（公告）號： | CN103366656A | 公開（公告）日： | 2013-10-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 托馬斯·H·貝利;勞埃德·瓊斯 | 申請（專利權(quán)）人： | 飛騰動力公司 |
| 主分類號： | G09G3/00 | 分類號： | G09G3/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287 | 代理人： | 吳曉輝 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 非遠(yuǎn)心 電壓 成像 光學(xué)系統(tǒng) ntvios | ||
1.一種用于對受測試電子裝置進(jìn)行電氣檢查的設(shè)備，其特征在于所述設(shè)備包括：
a.檢查頭，其包括：電光調(diào)制器；偏置電壓源，其產(chǎn)生施加到所述電光調(diào)制器的偏置電壓模式；光源，其用于產(chǎn)生用于照射所述電光調(diào)制器的光脈沖；非遠(yuǎn)心透鏡組合件和相機(jī)，其用于獲取所述被照射的電光調(diào)制器的圖像；以及
b.驅(qū)動電子器件，其經(jīng)配置以將電壓信號施加到所述受測試電子裝置，
其中所述照射光脈沖在照射到所述電光調(diào)制器之前不通過所述非遠(yuǎn)心透鏡組合件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述檢查設(shè)備進(jìn)一步包括折疊鏡。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述檢查設(shè)備進(jìn)一步包括光束分離器，其中所述光源包括一發(fā)光二極管LED或安置于所述光束分離器的同一側(cè)上的不同波長的多個發(fā)光二極管LED。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述檢查設(shè)備進(jìn)一步包括光束分離器，其中所述光源包括一發(fā)光二極管LED或安置于所述光束分離器的相對側(cè)上的不同波長的多個發(fā)光二極管LED。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述光源包括經(jīng)配置以產(chǎn)生一種或若干種波長的光的光照射器片。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述檢查設(shè)備進(jìn)一步包括用于將所述光源成像到所述非遠(yuǎn)心透鏡組合件的入射光瞳中的折射性聚光透鏡。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述檢查設(shè)備進(jìn)一步包括聚光器，其中所述聚光器包括具有橢圓形狀的反射性內(nèi)表面。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述檢查設(shè)備進(jìn)一步包括聚光器，其中所述聚光器包括反射性菲涅爾表面。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述檢查設(shè)備進(jìn)一步包括聚光器，其中所述聚光器包括具有非球面形狀的反射性內(nèi)表面。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述檢查設(shè)備進(jìn)一步包括反射性聚光器，其中所述光源安置在所述聚光器的所述內(nèi)部橢圓表面的第一軌線處，且被成像到與所述非遠(yuǎn)心透鏡組合件的光瞳重合的第二軌線。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述檢查設(shè)備進(jìn)一步包括安置在所述照射光脈沖的光學(xué)路徑中的漫射器、變跡器或聚光透鏡中的至少一者。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述光源包括發(fā)光二極管LED。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述光源包括在不同波長下操作的兩個發(fā)光二極管LED。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述檢查設(shè)備進(jìn)一步包括用于將所述照射光脈沖引導(dǎo)到所述電光調(diào)制器上的光束分離器。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述檢查設(shè)備進(jìn)一步包括透鏡光瞳，所述透鏡光瞳經(jīng)配置以使得將所述光源成像到所述透鏡光瞳中。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述光源包括光照射器片，所述檢查設(shè)備進(jìn)一步包括定位在所述光照射器片之后且經(jīng)配置以防止對所述電光調(diào)制器的直接照射的遮板。
17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述檢查設(shè)備進(jìn)一步包括鏡掃描器。
18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述檢查設(shè)備進(jìn)一步包括柔性光束分離器，所述柔性光束分離器的表面形狀可調(diào)整以優(yōu)化照射所述電光調(diào)制器的光的照射特性。
19.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述電光調(diào)制器相對于所述非遠(yuǎn)心透鏡組合件和所述相機(jī)是固定的。
20.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述檢查設(shè)備進(jìn)一步包括用于使用所述被照射的電光調(diào)制器的所述所獲取圖像來計算每一部位處的放大率的處理單元。
21.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)備，其特征在于所述檢查設(shè)備進(jìn)一步包括用于使用線性可變差動變壓器LVDT值計算放大率并校正非遠(yuǎn)心誤差的處理單元。
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