[發明專利]用于通過燃燒去除有害氣體的裝置

有效

• 申請號: 201310084218.5
• 申請日: 2013-03-15
• 公開（公告）號: CN103307611A
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發明（設計）人: H·賴夏特;A·弗倫策爾;M·弗爾斯特;C·克洛斯;S·特雷普特;R·維森貝格;W·維森貝格;G·戴維斯
• 申請（專利權）人: 達斯環境專家有限責任公司
• 主分類號: F23G7/06
• 分類號: F23G7/06
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 侯鳴慧

1.用于通過燃燒去除有害氣體的裝置（1），所述有害氣體例如在生產半導體材料時產生，尤其是含氨氣的有害氣體，所述裝置具有：能加熱的熱解管（2），所述有害氣體為了熱裂化成反應氣體而穿流所述熱解管；在所述熱解管（2）的出口（3）下游的點火裝置（4）；以及用于所述反應氣體在反應區（6）中的燃燒的空氣供給裝置（5），其特征在于，關于所述熱解管（2）中的所述有害氣體的流動方向（a）而言，在所述熱解管（2）的出口（3）的下游布置有偏轉裝置（7）用于使所述反應氣體與供給的空氣一起偏轉和形成渦流。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述偏轉裝置（7）構造用于，使所述反應氣體基本上逆著所述熱解管（2）中的所述有害氣體的流動方向（a）偏轉。

3.根據權利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述偏轉裝置（7）具有用于偏轉所述反應氣體的暴露的反射面。

4.根據權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述熱解管（2）的出口橫截面適配于所述偏轉裝置（7）的所述反射面的作用橫截面。

5.根據權利要求3或4所述的裝置，其特征在于，所述偏轉裝置（7）的反射面基本上槽形或者球冠形地構造。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的裝置，其特征在于，所述熱解管（2）的出口（3）構造成噴嘴形。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的裝置，其特征在于，所述點火裝置（4）布置在所述偏轉裝置（7）側旁，優選以預先給定的間距（d）。

8.根據權利要求5至7中任一項所述的裝置，其特征在于，所述點火裝置（4）具有基本上板形或者圓形的至少一個熾熱點火器，所述至少一個熾熱點火器相對于槽形的偏轉裝置（7）的外長側有間距地或者相對于球冠形的偏轉裝置（7）的外側有間距地布置。

9.根據權利要求1至8中任一項所述的裝置，其特征在于，為了形成所述反應區（6），所述熱解管（2）至少區域地由反應管（8）優選同軸地圍繞。

10.根據權利要求1至9中任一項所述的裝置，其特征在于，所述空氣供給裝置（5）以如下方式構造，即，用于所述反應氣體的燃燒的空氣基本上逆著所述熱解管（2）中的所述有害氣體的流動方向（a）流入到所述反應區（6）中。

11.根據權利要求9或10所述的裝置，其特征在于，所述點火裝置（4）和/或所述偏轉裝置（7）布置在所述反應管（8）的空氣入口側端部（9）的區域中。

12.根據權利要求9至11中任一項所述的裝置，其特征在于，在所述反應管（8）的空氣入口側端部（9）的區域中，在優選在所述偏轉裝置（7）的高度上的區域中，布置有導板（10）用于使流入的空氣形成渦流。

13.根據權利要求9至12中任一項所述的裝置，其特征在于，所述反應管（8）在空氣流動方向（b）上區域地伸入到導管（11）中，其中，在導管（11）和反應管（8）之間形成有用于空氣供給的環隙（12），從而使得所述導管（11）在所述反應管（8）的下游圍住燒盡區（13）。

14.根據權利要求1至13中任一項所述的裝置，其特征在于，在所述熱解管（2）的內側和/或外側上布置有用于所述有害氣體或者反應氣體-空氣混合物的熱傳遞和/或形成渦流的元件（14）。

15.根據權利要求9至14中任一項所述的裝置，其特征在于，設置有外部廢氣管（15），所述外部廢氣管具有間距地圍住所述熱解管（2）、所述反應管（8）、所述導管（11）、所述偏轉裝置（7）和所述點火裝置（4）。

16.根據權利要求15所述的裝置，其特征在于，在所述廢氣管（15）中設置有用于冷卻燃燒廢氣的熱交換器（17）。