[發明專利]聚焦離子束裝置和調整離子束光學系統的方法

無效

• 申請號: 201310083996.2
• 申請日: 2013-03-15
• 公開（公告）號: CN103311080A
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發明（設計）人: 杉山安彥;麻畑達也;土井利夫;大庭弘
• 申請（專利權）人: 日本株式會社日立高新技術科學
• 主分類號: H01J37/21
• 分類號: H01J37/21;H01J37/30;H01J37/304
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種聚焦離子束裝置，所述聚焦離子束裝置包括：

離子源，所述離子源用于提供離子；

聚束透鏡，所述聚束透鏡被構造為對從所述離子源提取的離子束進行聚束，所述聚束透鏡包括雙電位透鏡，所述雙電位透鏡包括：

第一電極，所述第一電極被構造為響應于所述第一電極與所述離子源之間的提取電壓的施加從所述離子源提取所述離子束，以及

第二電極，所述第二電極被構造為響應于所述第二電極與所述離子源之間的聚束電壓的施加對從所述離子源提取的所述離子束進行聚束；

多種類型的孔闌，所述多種類型的孔闌具有不同的孔闌直徑并且被構造為減小所聚束的離子束的束徑；以及

控制部，所述控制部包括聚束電壓表并且被構造為基于所述聚束電壓表設置所述聚束電壓，所述聚束電壓表與提取電壓的量和所述孔闌的類型相對應地存儲用于得到使離子束直徑最小的基準離子束電流的所述聚束電壓的設置值，

其中，所述控制部被構造為：

針對所述多種類型的孔闌中的每種類型，預先在所述聚束電壓表中存儲用于獲得所述基準離子束電流的所述聚束電壓的計算值，

針對所述多種類型的孔闌中的基準孔闌，獲得用于獲得所述基準離子束電流的所述聚束電壓的實驗值，

通過從所述基準孔闌的實驗值減去針對所述基準孔闌存儲的所述計算值來獲得所述聚束電壓的校正值，

通過將所獲得的校正值與針對所述多種類型的孔闌中的每種類型存儲的計算值相加來獲得用于所述多種類型的孔闌中的每種類型的設置值，以及

將所獲得的設置值存儲在所述聚束電壓表中。

2.根據權利要求1所述的聚焦離子束裝置，

其中，所述控制部被構造為：

通過將特定提取電壓下針對所述基準孔闌獲得的校正值與不同于所述特定提取電壓的提取電壓下針對所述多種類型的孔闌中的每種類型存儲的計算值相加來獲得所述設置值，以及

將所獲得的設置值存儲在所述聚束電壓表中。

3.根據權利要求1所述的聚焦離子束裝置，

其中，所述控制部被構造為：

針對各提取電壓獲得實驗值，

針對每個提取電壓，通過從所述實驗值減去針對所述基準孔闌存儲的計算值來獲得所述校正值，

針對每個提取電壓，通過將所述校正值與針對所述多種類型的孔闌中的每種類型存儲的計算值相加來獲得所述設置值，并且

將所獲得的設置值存儲在所述聚束電壓表中。

4.根據權利要求1至3中的任一項所述的聚焦離子束裝置，

其中，所述聚束電壓表被構造為存儲用于獲得任意離子束電流的聚束電壓的任意設置值，并且

其中，所述控制部被構造為：

針對所述離子源和所述聚束透鏡的第一組獲得第一校正值，

獲得用于獲得任意離子束電流的聚束電壓的第一實驗值，

通過從所述第一實驗值減去所述第一校正值來獲得用于獲得任意離子束電流的聚束電壓的第一計算值，

獲得離子源和聚束透鏡中的至少一個不同于所述第一組的離子源和聚束透鏡的第二組的第二校正值，

通過將所述第二校正值與所述第一計算值相加來獲得所述任意設置值，以及

將所獲得的任意設置值存儲在所述聚束電壓表中。

5.一種調整用于聚焦離子束裝置的離子束光學系統的方法，所述聚焦離子束裝置被構造為基于聚束電壓表設置聚束電壓并且包括：被構造為提供離子的離子源；被構造為對從所述離子源提取的離子束進行聚束的聚束透鏡；所述聚束透鏡包括雙電位透鏡，所述雙電位透鏡包括：被構造為響應于第一電極與所述離子源之間的提取電壓的施加從所述離子源提取離子束的第一電極，以及被構造為響應于第二電極與所述離子源之間的聚束電壓的施加對從所述離子源提取的離子束進行聚束的第二電極；多種類型的孔闌，所述多種類型的孔闌具有不同孔闌直徑并且被構造為減小所聚束的離子束的束徑；并且所述聚束電壓表與提取電壓的量和所述孔闌的類型相對應地存儲用于得到使離子束直徑最小的基準離子束電流的所述聚束電壓的設置值，所述方法包括：

針對多種類型的孔闌中的每種類型，預先在所述聚束電壓表中存儲用于獲得所述基準離子束電流的聚束電壓的計算值；

針對所述多種類型的孔闌中的基準孔闌，獲得用于獲得所述基準離子束電流的聚束電壓的實驗值；

通過從所述基準孔闌的實驗值減去針對所述基準孔闌存儲的計算值來獲得聚束電壓的校正值；

通過將所獲得的校正值與針對所述多種類型的孔闌中的每種類型存儲的計算值相加來獲得用于所述多種類型的孔闌中的每種類型的設置值；以及

將所獲得的設置值存儲在所述聚束電壓表中。